应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？
161/1返回列表
查看: 3741  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

大水杯

木虫 (著名写手)

[交流] 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？

小弟想利用AlN薄膜的压电性，所以，前不久刚通过直流磁控反应溅射做了几片AlN薄膜，XRD结果测试也有（002）取向的衍射峰，但当我我把做好的AlN薄膜放入AZ300的显影液里时，薄膜被慢慢腐蚀掉了，大约两分钟后就看到清晰的腐蚀痕迹。看过相关文献介绍说，AlN很稳定，可以耐强酸、强碱，但不知AlN为何会被显影液腐蚀掉（显影液显弱碱性），难道自己制备的薄膜不是纯正的AlN。求哪位老师、师哥or师姐给指点一下。
回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

xiaojun111

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-04-28 17:21:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

kirinwt19891

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
大水杯: 金币+2 2013-05-17 23:13:10
AlN腐蚀正巧做过系列实验，出现过楼主一样的问题。很不耐碱性，但是耐酸。文献上有可能瞎说。
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2013-01-14 10:37:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。
赞一下 回复此楼
2楼2012-04-29 17:41:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢指教
回复此楼
3楼2012-04-29 22:04:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢您的解答，我还想顺便问一下，您觉得用什么方法生长的材料较好，可以用了做实验？
赞一下 回复此楼
4楼2012-04-29 22:15:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 大水杯 at 2012-04-29 22:15:47:
谢谢您的解答，我还想顺便问一下，您觉得用什么方法生长的材料较好，可以用了做实验？

说实话，用哪种方式好我不敢确定，因为我知识有限。不过我想，相比于磁控溅射，采用MOCVD或者MBE来生长薄膜，一般来说质量会更好一些。但是AlN一般都长不厚，而且如果直接在衬底上生长出来的AlN应该也都是小晶粒，最好能有缓冲层。XRD看的话，最好只有AlN（0002）峰以及衬底或者缓冲层的峰。如果出现多个AlN的峰，那说明薄膜取向不一致，恐怕做腐蚀的话还会出现之前的问题。
赞一下 回复此楼
5楼2012-04-30 10:03:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by kirinwt19891 at 2013-01-14 10:37:16
AlN腐蚀正巧做过系列实验，出现过楼主一样的问题。很不耐碱性，但是耐酸。文献上有可能瞎说。

请问你是怎么制备的AlN
赞一下 回复此楼
7楼2013-01-14 13:08:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kirinwt19891

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
大水杯: 金币+1 2013-05-17 23:13:17
引用回帖:
7楼: Originally posted by 大水杯 at 2013-01-14 13:08:22
请问你是怎么制备的AlN...

磁控溅射的方式。 Al靶材  N2气氛。
赞一下 回复此楼
8楼2013-01-15 16:10:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

beatouyoo

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
大水杯: 金币+2 2013-05-17 23:13:27
AZ300 can etch AlN. You need to use CD30 as developer.
赞一下 回复此楼
9楼2013-05-17 05:55:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by beatouyoo at 2013-05-17 05:55:31
AZ300 can etch AlN. You need to use CD30 as developer.

谢谢你
回复此楼
10楼2013-05-17 23:12:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

andyrenp

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by kirinwt19891 at 2013-01-14 10:37:16
AlN腐蚀正巧做过系列实验，出现过楼主一样的问题。很不耐碱性，但是耐酸。文献上有可能瞎说。

常温下做的腐蚀吗？有没有做过高温
赞一下 回复此楼
11楼2013-07-15 15:03:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaojun111

禁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
本帖内容被屏蔽
12楼2013-11-17 11:28:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by xiaojun111 at 2013-11-17 11:28:47
我也是做AlN，用作绝缘薄膜，现在刚刚进行试验，也是采用磁控溅射方法生长的，看到H3PO4可以做腐蚀啊，马上就要试一下，可以保持联系，方便交流啊。小弟：flyan2011@sina.cn

磷酸我也试过，如果稍微加点热，腐蚀能快点
赞一下 回复此楼
13楼2013-11-17 12:30:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
因为显影液中存在TMAH，而TMAH是可以腐蚀AlN的。这个实验我自己做过，用于AlN的图形化
赞一下 回复此楼
14楼2014-08-17 22:48:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by hongliushu03 at 2014-08-17 22:48:23
因为显影液中存在TMAH，而TMAH是可以腐蚀AlN的。这个实验我自己做过，用于AlN的图形化

谢谢你呀

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼
15楼2014-08-17 23:49:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我最红

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by hongliushu03 at 2014-08-17 22:48:23
因为显影液中存在TMAH，而TMAH是可以腐蚀AlN的。这个实验我自己做过，用于AlN的图形化

请问速率大概多少？以及需要加热么？谢谢！
赞一下 回复此楼
16楼2017-01-09 19:06:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 大水杯 的主题更新
161/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 0XLacIJUOj8D 2026-08-24 3/150 2026-08-25 01:47 by BZKMTicpDhFj
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +7 图啦图啦 2026-08-24 8/400 2026-08-24 22:00 by maomao_da
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +21 koalala 2026-08-24 24/1200 2026-08-24 19:25 by 家与远方
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +17 医学老男孩 2026-08-20 21/1050 2026-08-24 14:21 by refreshing11
[基金申请] 估计是周四 +4 archvillain 2026-08-18 4/200 2026-08-24 13:53 by zzuzxg
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +6 炎黄贵胄 2026-08-22 7/350 2026-08-24 11:58 by 6543yes
[基金申请] 朋友圈看到的 +7 wangzilk 2026-08-18 9/450 2026-08-24 10:50 by cmrandy
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 17/850 2026-08-24 10:20 by echo8914667
[基金申请] 科研孤儿太难了 +18 我4大白菜 2026-08-20 19/950 2026-08-24 09:47 by 凯恩广盛催化分�
[基金申请] 什么时候开奖？ +10 CrisMessi 2026-08-18 11/550 2026-08-24 06:50 by 开心的小狮子
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭