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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？
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大水杯

木虫 (著名写手)

[交流] 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？

小弟想利用AlN薄膜的压电性，所以，前不久刚通过直流磁控反应溅射做了几片AlN薄膜，XRD结果测试也有（002）取向的衍射峰，但当我我把做好的AlN薄膜放入AZ300的显影液里时，薄膜被慢慢腐蚀掉了，大约两分钟后就看到清晰的腐蚀痕迹。看过相关文献介绍说，AlN很稳定，可以耐强酸、强碱，但不知AlN为何会被显影液腐蚀掉（显影液显弱碱性），难道自己制备的薄膜不是纯正的AlN。求哪位老师、师哥or师姐给指点一下。
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xiaojun111

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1楼 2012-04-28 17:21:46
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢您的解答，我还想顺便问一下，您觉得用什么方法生长的材料较好，可以用了做实验？
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4楼2012-04-29 22:15:47
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。
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2楼2012-04-29 17:41:20
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢指教
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3楼2012-04-29 22:04:26
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 大水杯 at 2012-04-29 22:15:47:
谢谢您的解答，我还想顺便问一下，您觉得用什么方法生长的材料较好，可以用了做实验？

说实话，用哪种方式好我不敢确定，因为我知识有限。不过我想，相比于磁控溅射，采用MOCVD或者MBE来生长薄膜，一般来说质量会更好一些。但是AlN一般都长不厚，而且如果直接在衬底上生长出来的AlN应该也都是小晶粒，最好能有缓冲层。XRD看的话，最好只有AlN（0002）峰以及衬底或者缓冲层的峰。如果出现多个AlN的峰，那说明薄膜取向不一致，恐怕做腐蚀的话还会出现之前的问题。
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5楼2012-04-30 10:03:05
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