24小时热门版块排行榜    

查看: 3745  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

大水杯

木虫 (著名写手)


[交流] 请教各位虫友,AlN薄膜耐强碱腐蚀吗?

小弟想利用AlN薄膜的压电性,所以,前不久刚通过直流磁控反应溅射做了几片AlN薄膜,XRD结果测试也有(002)取向的衍射峰,但当我我把做好的AlN薄膜放入AZ300的显影液里时,薄膜被慢慢腐蚀掉了,大约两分钟后就看到清晰的腐蚀痕迹。看过相关文献介绍说,AlN很稳定,可以耐强酸、强碱,但不知AlN为何会被显影液腐蚀掉(显影液显弱碱性),难道自己制备的薄膜不是纯正的AlN。求哪位老师、师哥or师姐给指点一下。
回复此楼

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

beatouyoo

新虫 (初入文坛)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
大水杯: 金币+2 2013-05-17 23:13:27
AZ300 can etch AlN. You need to use CD30 as developer.
9楼2013-05-17 05:55:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

MANOWAR

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我猜想,磁控溅射的材料可能质量不是很好,薄膜会出现多种晶向,某些方向的AlN很稳定,但是另一些方向上却很活泼,所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验,试一试。
2楼2012-04-29 17:41:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想,磁控溅射的材料可能质量不是很好,薄膜会出现多种晶向,某些方向的AlN很稳定,但是另一些方向上却很活泼,所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验,试一试。

谢谢指教
3楼2012-04-29 22:04:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想,磁控溅射的材料可能质量不是很好,薄膜会出现多种晶向,某些方向的AlN很稳定,但是另一些方向上却很活泼,所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验,试一试。

谢谢您的解答,我还想顺便问一下,您觉得用什么方法生长的材料较好,可以用了做实验?
4楼2012-04-29 22:15:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 18/900 2026-08-25 14:50 by Weed114114
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 +4 ziyangfang 2026-08-25 4/200 2026-08-25 14:41 by ZJTJZ
[基金申请] 某些机构,以效率低为荣,以效率低作为存在感 +6 yuleib84 2026-08-25 7/350 2026-08-25 14:40 by 六两废铜
[基金申请] 什么时候开奖? +12 CrisMessi 2026-08-18 13/650 2026-08-25 14:40 by ZJTJZ
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +19 羊腰板 2026-08-21 22/1100 2026-08-25 10:38 by popular289
[教师之家] 导师吐槽:我怎么摊上了这么个极品研究生! +3 苏东坡二世 2026-08-23 3/150 2026-08-25 10:35 by shisan1313
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +17 kkkl_v 2026-08-19 18/900 2026-08-25 09:41 by windflowerwy
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +7 炎黄贵胄 2026-08-22 8/400 2026-08-25 08:48 by ZJTJZ
[基金申请] 明天应该可查了!? +5 chengyan1220 2026-08-23 5/250 2026-08-24 23:28 by 我4大白菜
[基金申请] 今日不放榜?网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +17 医学老男孩 2026-08-20 21/1050 2026-08-24 14:21 by refreshing11
[基金申请] 让我中一个面上吧! +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 今天放榜吗? +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
信息提示
请填处理意见