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大水杯

木虫 (著名写手)


[交流] 请教各位虫友,AlN薄膜耐强碱腐蚀吗?

小弟想利用AlN薄膜的压电性,所以,前不久刚通过直流磁控反应溅射做了几片AlN薄膜,XRD结果测试也有(002)取向的衍射峰,但当我我把做好的AlN薄膜放入AZ300的显影液里时,薄膜被慢慢腐蚀掉了,大约两分钟后就看到清晰的腐蚀痕迹。看过相关文献介绍说,AlN很稳定,可以耐强酸、强碱,但不知AlN为何会被显影液腐蚀掉(显影液显弱碱性),难道自己制备的薄膜不是纯正的AlN。求哪位老师、师哥or师姐给指点一下。
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大水杯

木虫 (著名写手)


引用回帖:
9楼: Originally posted by beatouyoo at 2013-05-17 05:55:31
AZ300 can etch AlN. You need to use CD30 as developer.

谢谢你
10楼2013-05-17 23:12:28
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MANOWAR

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我猜想,磁控溅射的材料可能质量不是很好,薄膜会出现多种晶向,某些方向的AlN很稳定,但是另一些方向上却很活泼,所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验,试一试。
2楼2012-04-29 17:41:20
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大水杯

木虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想,磁控溅射的材料可能质量不是很好,薄膜会出现多种晶向,某些方向的AlN很稳定,但是另一些方向上却很活泼,所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验,试一试。

谢谢指教
3楼2012-04-29 22:04:26
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大水杯

木虫 (著名写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想,磁控溅射的材料可能质量不是很好,薄膜会出现多种晶向,某些方向的AlN很稳定,但是另一些方向上却很活泼,所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验,试一试。

谢谢您的解答,我还想顺便问一下,您觉得用什么方法生长的材料较好,可以用了做实验?
4楼2012-04-29 22:15:47
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