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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？
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大水杯

木虫 (著名写手)

[交流] 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？

小弟想利用AlN薄膜的压电性，所以，前不久刚通过直流磁控反应溅射做了几片AlN薄膜，XRD结果测试也有（002）取向的衍射峰，但当我我把做好的AlN薄膜放入AZ300的显影液里时，薄膜被慢慢腐蚀掉了，大约两分钟后就看到清晰的腐蚀痕迹。看过相关文献介绍说，AlN很稳定，可以耐强酸、强碱，但不知AlN为何会被显影液腐蚀掉（显影液显弱碱性），难道自己制备的薄膜不是纯正的AlN。求哪位老师、师哥or师姐给指点一下。
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xiaojun111

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1楼 2012-04-28 17:21:46
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by xiaojun111 at 2013-11-17 11:28:47
我也是做AlN，用作绝缘薄膜，现在刚刚进行试验，也是采用磁控溅射方法生长的，看到H3PO4可以做腐蚀啊，马上就要试一下，可以保持联系，方便交流啊。小弟：flyan2011@sina.cn

磷酸我也试过，如果稍微加点热，腐蚀能快点
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13楼2013-11-17 12:30:17
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。
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2楼2012-04-29 17:41:20
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢指教
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3楼2012-04-29 22:04:26
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大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢您的解答，我还想顺便问一下，您觉得用什么方法生长的材料较好，可以用了做实验？
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4楼2012-04-29 22:15:47
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