应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？
51/1返回列表
查看: 3770  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

大水杯

木虫 (著名写手)

[交流] 请教各位虫友，AlN薄膜耐强碱腐蚀吗？

小弟想利用AlN薄膜的压电性，所以，前不久刚通过直流磁控反应溅射做了几片AlN薄膜，XRD结果测试也有（002）取向的衍射峰，但当我我把做好的AlN薄膜放入AZ300的显影液里时，薄膜被慢慢腐蚀掉了，大约两分钟后就看到清晰的腐蚀痕迹。看过相关文献介绍说，AlN很稳定，可以耐强酸、强碱，但不知AlN为何会被显影液腐蚀掉（显影液显弱碱性），难道自己制备的薄膜不是纯正的AlN。求哪位老师、师哥or师姐给指点一下。
回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

xiaojun111

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-04-28 17:21:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我最红

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by hongliushu03 at 2014-08-17 22:48:23
因为显影液中存在TMAH，而TMAH是可以腐蚀AlN的。这个实验我自己做过，用于AlN的图形化

请问速率大概多少？以及需要加热么？谢谢！
赞一下 回复此楼
16楼2017-01-09 19:06:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

MANOWAR

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。
赞一下 回复此楼
2楼2012-04-29 17:41:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢指教
回复此楼
3楼2012-04-29 22:04:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by MANOWAR at 2012-04-29 17:41:20:
我猜想，磁控溅射的材料可能质量不是很好，薄膜会出现多种晶向，某些方向的AlN很稳定，但是另一些方向上却很活泼，所以容易被腐蚀掉。建议找一些其它手段生长的材料来做实验，试一试。

谢谢您的解答，我还想顺便问一下，您觉得用什么方法生长的材料较好，可以用了做实验？
赞一下 回复此楼
4楼2012-04-29 22:15:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的？ +16 爱看书的可乐 2026-08-26 18/900 2026-08-30 10:33 by winsaint
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 4/200 2026-08-30 07:39 by ZPa0EcMwuECS
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 4/200 2026-08-30 07:28 by ZPa0EcMwuECS
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 4/200 2026-08-30 07:17 by ZPa0EcMwuECS
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 4/200 2026-08-30 06:57 by ZPa0EcMwuECS
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 5/250 2026-08-30 06:55 by ZPa0EcMwuECS
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 10/500 2026-08-30 06:11 by ZPa0EcMwuECS
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 11/550 2026-08-30 06:00 by ZPa0EcMwuECS
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 4/200 2026-08-30 02:09 by ZPa0EcMwuECS
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 7/350 2026-08-30 01:12 by ZPa0EcMwuECS
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +15 晴天加油 2026-08-26 16/800 2026-08-29 18:28 by symmetry
[基金申请] 有没有仍没收到信息的 +5 德尚中行 2026-08-27 6/300 2026-08-29 18:10 by manplx
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 哪位高人中了，把查询到的截图贴出来让我看看，让我长长见识 +5 yuleib84 2026-08-26 6/300 2026-08-28 00:02 by yudaoqian88
[基金申请] 申请删除本帖 +6 lyz123lyz 2026-08-27 7/350 2026-08-27 17:31 by 宁静致远sy
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜？ 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 国合里面能看到了 +7 一怀馨秋 2026-08-26 7/350 2026-08-26 11:23 by zhaosm1982
[基金申请] 牛来！米来！面来！ +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭