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yzwudi321

新虫 (初入文坛)

[交流] 请教一下如何腐蚀(111)晶面硅的问题 已有2人参与

我现在需要腐蚀(111)晶面的硅,请问下应该用什么腐蚀液和掩膜,我要腐蚀200-300微米,谢谢
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yzwudi321

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-12 20:33:13
不能腐蚀110/100吗?还是说能把111腐蚀掉就可以,其他的也可以腐蚀

我的片子衬底是(111)的,要腐蚀一个腔出来,所以需要有掩膜
3楼2015-01-12 20:50:42
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exciting73

金虫 (著名写手)


不能腐蚀110/100吗?还是说能把111腐蚀掉就可以,其他的也可以腐蚀
2楼2015-01-12 20:33:13
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exciting73

金虫 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yzwudi321 at 2015-01-12 20:50:42
我的片子衬底是(111)的,要腐蚀一个腔出来,所以需要有掩膜...

用光刻胶就可以
4楼2015-01-13 11:04:08
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yzwudi321

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-13 11:04:08
用光刻胶就可以...

正胶吗?我试过胶会掉,应该怎么处理?
5楼2015-01-13 12:05:40
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