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valane

木虫 (初入文坛)

[求助] 如何腐蚀掉硅，但不腐蚀镀在上面的金属镍

如题
如何腐蚀掉硅，但不腐蚀镀在上面的金属镍
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1楼 2012-11-06 19:16:54
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
要是二氧化硅可以用浓碱除去，单质硅这个应该实现不了。
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麦麦爸爸爱小牛
2楼2012-11-06 20:14:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
yanhualover: 金币+1, 见解独到，值得鼓励。 2013-02-04 06:22:41
楼上说反了，浓碱恰恰是腐蚀硅的，腐蚀SiO的是HF，浓碱对于SiO的腐蚀速率很慢。
你可以用KOH腐蚀硅，而镍本身是耐浓碱的。但是镍本身肯定会有一定的腐蚀速率，所以你要实验一下Ni和硅的腐蚀选择比，然后根据腐蚀多少硅来决定做多厚的镍。
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3楼2012-11-06 21:52:22
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knight5152

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

可以用KOH腐蚀硅，但是镍本身肯定会有一定的腐蚀速率，所以你要实验一下Ni和硅的腐蚀选择比，然后根据腐蚀多少硅来决定做多厚的镍
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4楼2012-11-13 10:10:34
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knight5152

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

KOH可以腐蚀si，测试20%，30%,50%……对si的腐蚀
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5楼2012-11-13 10:14:50
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醋人

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

还是试试HF，但是浓度应该小于10%，F有毒，注意试验完处理好
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精专业、强意志、壮身体
6楼2013-02-03 20:26:25
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limeiyu53

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这不就是光刻吗？
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7楼2013-02-04 08:01:46
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