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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 硅衬底上去除氧化硅
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da198919

木虫 (小有名气)

[求助] 硅衬底上去除氧化硅

请教各位大侠，采用高掺杂P型硅做电极，表面一层氧化硅300nm完全覆盖，我做检测探针不能扎到硅电极上，如何可以去除一部分氧化硅露出下面的硅电极？
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1楼 2012-10-22 16:57:47
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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
da198919: 金币+5, ★★★很有帮助, 我这是个完整的器件，没使用过Ar轰击，不过现在已经解决好了，还是谢谢了 2012-10-24 09:59:17
zyz666888: 金币+1, 感谢应助，欢迎常来！ 2013-01-03 08:23:56
用高能Ar离子束轰击一下就可以了
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3楼2012-10-23 12:11:51
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王全龙ciomp

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
da198919: 金币+5, ★★★很有帮助, 恩，这样做可以，不过我就只要一点点面积漏出来就可以了，没必要这么麻烦，还是谢谢了，以后会用得到 2012-10-28 11:13:01
zyz666888: 金币+1, 感谢应助，欢迎常来！ 2013-01-03 08:24:11
用光刻胶做一层保护层，用HF溶液腐蚀
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4楼2012-10-25 12:33:47
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liyangntu

金虫 (正式写手)
一般都是用DHF清洗。但是清洗过后放在空气中很快还是会氧化的。不过如果只有300nm，不至于探针扎无法接触下面掺杂过的硅。
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5楼2013-01-02 16:59:58
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