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da198919

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2892.5
帖子: 85
在线: 10.6小时
虫号: 1277270
注册: 2011-04-25
性别: GG
专业: 半导体电子器件

[求助] 硅衬底上去除氧化硅

请教各位大侠，采用高掺杂P型硅做电极，表面一层氧化硅300nm完全覆盖，我做检测探针不能扎到硅电极上，如何可以去除一部分氧化硅露出下面的硅电极？

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1楼 2012-10-22 16:57:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

liyangntu

金虫 (正式写手)

应助: 5 (幼儿园)
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散金: 1100
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帖子: 510
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虫号: 2178963
注册: 2012-12-10
性别: GG
专业: 半导体电子器件

一般都是用DHF清洗。但是清洗过后放在空气中很快还是会氧化的。不过如果只有300nm，不至于探针扎无法接触下面掺杂过的硅。

5楼2013-01-02 16:59:58

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