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da198919

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2892.5
帖子: 85
在线: 10.6小时
虫号: 1277270
注册: 2011-04-25
性别: GG
专业: 半导体电子器件

[求助] 硅衬底上去除氧化硅

请教各位大侠，采用高掺杂P型硅做电极，表面一层氧化硅300nm完全覆盖，我做检测探针不能扎到硅电极上，如何可以去除一部分氧化硅露出下面的硅电极？

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1楼 2012-10-22 16:57:47

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Ivan_ye

金虫 (正式写手)

应助: 14 (小学生)
金币: 1164.4
散金: 66
红花: 2
帖子: 798
在线: 50.7小时
虫号: 978357
注册: 2010-03-22
专业: 聚合物共混与复合材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
da198919: 金币+5, ★★★很有帮助, 我这是个完整的器件，没使用过Ar轰击，不过现在已经解决好了，还是谢谢了 2012-10-24 09:59:17
zyz666888: 金币+1, 感谢应助，欢迎常来！ 2013-01-03 08:23:56

用高能Ar离子束轰击一下就可以了

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3楼2012-10-23 12:11:51

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