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da198919

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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在线: 10.6小时
虫号: 1277270
注册: 2011-04-25
性别: GG
专业: 半导体电子器件

[求助] 硅衬底上去除氧化硅

请教各位大侠，采用高掺杂P型硅做电极，表面一层氧化硅300nm完全覆盖，我做检测探针不能扎到硅电极上，如何可以去除一部分氧化硅露出下面的硅电极？

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1楼 2012-10-22 16:57:47

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王全龙ciomp

木虫 (著名写手)

应助: 3 (幼儿园)
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在线: 247.1小时
虫号: 2064097
注册: 2012-10-16
性别: GG
专业: 光学和光电子学

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
da198919: 金币+5, ★★★很有帮助, 恩，这样做可以，不过我就只要一点点面积漏出来就可以了，没必要这么麻烦，还是谢谢了，以后会用得到 2012-10-28 11:13:01
zyz666888: 金币+1, 感谢应助，欢迎常来！ 2013-01-03 08:24:11

用光刻胶做一层保护层，用HF溶液腐蚀

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4楼2012-10-25 12:33:47

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