| 查看: 2700 | 回复: 9 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
sarahzyp金虫 (小有名气)
|
[求助]
[求助]磁控溅射设备中的强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？
|
|
我们用的是沈科仪的JGP-560B磁控溅射设备，曾经自己改装过，就是有一个强磁靶位本来接的是直流电源，改接成射频电源，溅射SiN了两三回，每次溅射约20分钟，之后接回直流溅射钼，溅射时间为1小时。现在发现靶面有伤痕，不知道是哪次造成的，不知是否是射频电源对靶位造成的损伤？还是直流溅射的时间太长了？强磁靶接射频电源是否会对靶位造成损伤？ IMG_20120921_091837.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
本人考085602 化学工程 专硕
已经有23人回复
-
求调剂院校信息
已经有4人回复
-
085600材料与化工306
已经有4人回复
-
286求调剂
已经有10人回复
-
328求调剂，英语六级551，有科研经历
已经有9人回复
-
一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂
已经有4人回复
-
286分人工智能专业请求调剂愿意跨考！
已经有8人回复
-
资源与环境 调剂申请(333分)
已经有5人回复
-
280求调剂
已经有12人回复
-
269专硕求调剂
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 有没有人用磁控溅射做过alpha-Fe2O3，用的靶材是什么
已经有6人回复
- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 【急急急】有用射频磁控溅射硒Se靶的么？
已经有16人回复
- 求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？
已经有9人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？
已经有9人回复
- 【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
- 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？
已经有6人回复
- 【求助】问问Ni的磁控溅射和Fe一样需要强磁靶才难有高的溅射速率么？？
已经有3人回复
- 【求助】有买过Fe50Mn50磁控溅射靶的么？
已经有3人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
sarahzyp
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1989.6
- 散金: 7
- 帖子: 72
- 在线: 430.5小时
- 虫号: 1257522
- 注册: 2011-04-07
- 性别: MM
- 专业: 金属功能材料
7楼2012-09-24 08:33:47
leongoall
专家顾问 (知名作家)
P-M-I之初生牛犊
- 应助: 144 (高中生)
- 贵宾: 0.055
- 金币: 7602.7
- 散金: 627
- 红花: 35
- 沙发: 3
- 帖子: 5347
- 在线: 1063小时
- 虫号: 490263
- 注册: 2008-01-03
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
- 管辖: 物理
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-09-22 23:12:12
sarahzyp: 金币+10, ★有帮助 2012-10-08 21:38:36
感谢参与，应助指数 +1
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2012-09-22 23:12:12
sarahzyp: 金币+10, ★有帮助 2012-10-08 21:38:36
|
想了解以下几个问题： 1. 楼主所谓的靶面伤痕对应的是照片上什么位置？能否将镀膜之前未有伤痕的靶面也贴出来对比一下？ 2. 改接射频电源前是否测量过强磁靶的阻抗以及有否调匹配？ 一般说来，直流靶和射频靶之间都是可以相互转换的，而且既然你改接射频源能够起辉镀膜，可见的确功率都加到了靶上！即使因为阻抗不匹配，最多也是射频电源的反射功率比较大容易伤电源而已！个人不觉得伤痕是射频源造成的！ |
2楼2012-09-21 12:56:28
3楼2012-09-21 13:53:37
shadowtiger
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 938.8
- 散金: 400
- 帖子: 124
- 在线: 56.8小时
- 虫号: 1241596
- 注册: 2011-03-22
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2012-09-22 21:25:34
