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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 用磁控溅射怎么溅射Ti
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alfie237319

金虫 (初入文坛)

[交流] 用磁控溅射怎么溅射Ti 已有1人参与

哪位知道用磁控溅射怎么溅射Ti?我做的实验都测不到Ti峰位啊？怎么回事？
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1楼 2012-08-19 15:52:00
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zmus

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
linhua0402313: 金币+1, 恩，感谢回帖交流，希望对楼主有帮助 2012-08-20 15:53:36
用直流或都射频靶位都行的，我都做过。Ti靶熔点很高，功率高也不容易熔化，一般100W以上功率。
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2楼2012-08-20 13:35:03
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alfie237319

金虫 (初入文坛)
你好，我要做200nm薄膜，请问用多大的功率密度比较好？我用的Ar气15sccm，(*^__^*) 谢谢
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3楼2012-08-21 10:24:50
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