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alfie237319

金虫 (初入文坛)

[交流] 用磁控溅射怎么溅射Ti 已有1人参与

哪位知道用磁控溅射怎么溅射Ti?我做的实验都测不到Ti峰位啊?怎么回事?
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alfie237319

金虫 (初入文坛)

你好,我要做200nm薄膜,请问用多大的功率密度比较好?我用的Ar气15sccm,(*^__^*) 谢谢
3楼2012-08-21 10:24:50
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zmus

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
linhua0402313: 金币+1, 恩,感谢回帖交流,希望对楼主有帮助 2012-08-20 15:53:36
用直流或都射频靶位都行的,我都做过。Ti靶熔点很高,功率高也不容易熔化,一般100W以上功率。
2楼2012-08-20 13:35:03
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