| 查看: 772 | 回复: 2 | |||
yf19890603金虫 (小有名气)
|
[求助]
作直流磁控溅射铜靶时，无法起辉。
|
| 作直流磁控溅射铜靶时，无法起辉，以前做过数次都正常。这次调节溅射电压时，电压不变，电流却急剧增大，请问是有什么原因引起？该如何解决？（氩气为400sccm） |
回复此楼» 猜你喜欢
搅拌铸造制备复合材料中的疑问
已经有0人回复
-
采用高温激光共聚焦显微镜结合差示扫描色度法对单相金属凝固过程进行研究
已经有0人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有261人回复
-
高温激光共聚焦显微镜在研究钢铁中非金属夹杂物的应用
已经有0人回复
-
纳米压痕仪的前世今生
已经有0人回复
-
KLA Instruments™为仪器行业提供值得信赖的量测技术
已经有0人回复
-
高温原位观察熔融钢渣的冷却过程
已经有0人回复
-
Inorganics-Inorganic Photocatalysts for Environmental Applications特刊征稿
已经有0人回复
-
高温原位观察铸铁的凝固过程
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 射频磁控不起辉
已经有6人回复
- 【求助】射频溅射反射功率过高，不起辉，无自偏压
已经有12人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离
已经有20人回复
悠然zx11
荣誉版主 (知名作家)
- MEPI: 1
- 应助: 171 (高中生)
- 贵宾: 6.025
- 金币: 11388.8
- 散金: 12104
- 红花: 54
- 沙发: 9
- 帖子: 5657
- 在线: 852.3小时
- 虫号: 1242941
- 注册: 2011-03-23
- 专业: 高分子材料与环境
- 管辖: 材料工程
2楼2012-08-15 08:29:00
wxy1984
铜虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 142.3
- 散金: 6
- 帖子: 70
- 在线: 136.7小时
- 虫号: 509992
- 注册: 2008-02-23
- 性别: GG
- 专业: 高分子材料的加工与成型
3楼2012-08-15 08:33:36
投票:
30