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yf19890603金虫 (小有名气)
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[求助]
作直流磁控溅射铜靶时，无法起辉。
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| 作直流磁控溅射铜靶时，无法起辉，以前做过数次都正常。这次调节溅射电压时，电压不变，电流却急剧增大，请问是有什么原因引起？该如何解决？（氩气为400sccm） |
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wxy1984
铜虫 (小有名气)
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3楼2012-08-15 08:33:36
悠然zx11
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2楼2012-08-15 08:29:00