24小时热门版块排行榜    

查看: 2960  |  回复: 8

Smallpeng

木虫 (正式写手)

[求助] 帮忙分析下薄膜的SEM图

我的薄膜是溅射在硅片上的,在SEM下观察。二次电子模式下,一片光亮,像镜面一样,没有晶粒发现,但在背散模式下就发现有很多裂纹,这是为什么呢?为什么在仅在背散模式下观察到裂纹啊,是裂纹处的成分发生变化还是怎么回事?

二次电子模式



背散模式
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


【答案】应助回帖


Smallpeng: 金币+1, 有帮助 2012-07-15 12:26:52
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!
2楼2012-07-15 09:48:44
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by COXEM at 2012-07-15 09:48:44
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!

怎么成了硅片裂纹?
3楼2012-07-15 11:05:41
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by COXEM at 2012-07-15 09:48:44
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!

硅片裂纹?如何解释?我溅射的薄一点的话就没有裂纹出现,如果是硅片裂纹的话应该不管薄厚都出现裂纹的啊!那又为什么在二次电子下没发现裂纹只在背散下看到呢?
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
4楼2012-07-15 12:31:08
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

slzhao

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

放大比例都不一样,怎么对比啊?如果是二次电子的,放大倍数、初电子能都相同,会怎么样?按道理来说,两种模式出来的图应该一样。
Dream
5楼2012-07-15 17:06:41
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by slzhao at 2012-07-15 17:06:41
放大比例都不一样,怎么对比啊?如果是二次电子的,放大倍数、初电子能都相同,会怎么样?按道理来说,两种模式出来的图应该一样。

不好意思,我上图的时候没注意放大倍数,二次电子在1k倍的时候和500倍一样,同样没发现裂纹
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
6楼2012-07-15 19:39:49
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

boaizcs

金虫 (小有名气)

兄弟,你的原因找到没?
微笑而过
7楼2012-10-03 21:22:39
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liyiming

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-07-15 19:39:49
不好意思,我上图的时候没注意放大倍数,二次电子在1k倍的时候和500倍一样,同样没发现裂纹...

如果二次电子像是成功聚焦的话,从形貌上看是没有裂纹的。bse除了具有形貌衬度意外,还对成分敏感,因此考虑是否某种成分在界面处的偏聚。(具体的研究内容并不了解,仅从图片分析的角度考虑。)
8楼2012-10-04 09:50:10
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by boaizcs at 2012-10-03 21:22:39
兄弟,你的原因找到没?

应该是太厚了
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
9楼2012-10-04 10:28:54
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Smallpeng 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 能源材料化学课题组招收硕士研究生8-10名 +3 脱颖而出 2026-03-16 6/300 2026-03-17 21:19 by z1z2z3879
[考研] 299求调剂 +4 △小透明* 2026-03-17 4/200 2026-03-17 20:09 by peike
[考研] 考研化学学硕调剂,一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 085600材料与化工求调剂 +5 绪幸与子 2026-03-17 5/250 2026-03-17 16:40 by laoshidan
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[硕博家园] 深圳大学硕士招生(2026秋,传感器方向,仅录取第一志愿) +4 xujiaoszu 2026-03-11 9/450 2026-03-17 10:29 by xujiaoszu
[考研] 278求调剂 +3 Yy7400 2026-03-13 3/150 2026-03-17 08:24 by laoshidan
[考研] 085600调剂 +5 漾漾123sun 2026-03-12 6/300 2026-03-16 15:58 by 漾漾123sun
[考研] 求老师收留调剂 +4 jiang姜66 2026-03-14 5/250 2026-03-15 20:11 by Winj1e
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 328求调剂 +3 5201314Lsy! 2026-03-13 6/300 2026-03-14 15:31 by hyswxzs
[考研] 四川大学085601材料工程专硕 初试294求调剂 +4 祝我们好在冬天 2026-03-11 4/200 2026-03-13 21:39 by peike
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 材料专硕350 求调剂 +4 王金科 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:02 by ruiyingmiao
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 274求调剂 +3 S.H1 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:15 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +3 d如愿上岸 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:43 by houyaoxu
[考研] 283求调剂,材料、化工皆可 +8 苏打水7777 2026-03-11 10/500 2026-03-13 09:06 by Linda Hu
信息提示
请填处理意见