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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 帮忙分析下薄膜的SEM图
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

[求助] 帮忙分析下薄膜的SEM图

我的薄膜是溅射在硅片上的，在SEM下观察。二次电子模式下，一片光亮，像镜面一样，没有晶粒发现，但在背散模式下就发现有很多裂纹，这是为什么呢？为什么在仅在背散模式下观察到裂纹啊，是裂纹处的成分发生变化还是怎么回事？

二次电子模式



背散模式
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
1楼 2012-07-11 10:50:13
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


【答案】应助回帖

★
Smallpeng: 金币+1, ★有帮助 2012-07-15 12:26:52
硅片裂纹！ 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况！
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2楼2012-07-15 09:48:44
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wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by COXEM at 2012-07-15 09:48:44
硅片裂纹！ 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况！

怎么成了硅片裂纹？
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3楼2012-07-15 11:05:41
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by COXEM at 2012-07-15 09:48:44
硅片裂纹！ 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况！

硅片裂纹？如何解释？我溅射的薄一点的话就没有裂纹出现，如果是硅片裂纹的话应该不管薄厚都出现裂纹的啊！那又为什么在二次电子下没发现裂纹只在背散下看到呢？
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
4楼2012-07-15 12:31:08
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slzhao

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

放大比例都不一样，怎么对比啊？如果是二次电子的，放大倍数、初电子能都相同，会怎么样？按道理来说，两种模式出来的图应该一样。
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Dream
5楼2012-07-15 17:06:41
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by slzhao at 2012-07-15 17:06:41
放大比例都不一样，怎么对比啊？如果是二次电子的，放大倍数、初电子能都相同，会怎么样？按道理来说，两种模式出来的图应该一样。

不好意思，我上图的时候没注意放大倍数，二次电子在1k倍的时候和500倍一样，同样没发现裂纹
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
6楼2012-07-15 19:39:49
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boaizcs

金虫 (小有名气)
兄弟，你的原因找到没？
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微笑而过
7楼2012-10-03 21:22:39
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liyiming

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-07-15 19:39:49
不好意思，我上图的时候没注意放大倍数，二次电子在1k倍的时候和500倍一样，同样没发现裂纹...

如果二次电子像是成功聚焦的话，从形貌上看是没有裂纹的。bse除了具有形貌衬度意外，还对成分敏感，因此考虑是否某种成分在界面处的偏聚。（具体的研究内容并不了解，仅从图片分析的角度考虑。）
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8楼2012-10-04 09:50:10
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by boaizcs at 2012-10-03 21:22:39
兄弟，你的原因找到没？

应该是太厚了
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
9楼2012-10-04 10:28:54
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