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Smallpeng

木虫 (正式写手)

[求助] 帮忙分析下薄膜的SEM图

我的薄膜是溅射在硅片上的,在SEM下观察。二次电子模式下,一片光亮,像镜面一样,没有晶粒发现,但在背散模式下就发现有很多裂纹,这是为什么呢?为什么在仅在背散模式下观察到裂纹啊,是裂纹处的成分发生变化还是怎么回事?

二次电子模式



背散模式
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勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by COXEM at 2012-07-15 09:48:44
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!

硅片裂纹?如何解释?我溅射的薄一点的话就没有裂纹出现,如果是硅片裂纹的话应该不管薄厚都出现裂纹的啊!那又为什么在二次电子下没发现裂纹只在背散下看到呢?
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
4楼2012-07-15 12:31:08
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


【答案】应助回帖


Smallpeng: 金币+1, 有帮助 2012-07-15 12:26:52
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!
2楼2012-07-15 09:48:44
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wu1008

金虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by COXEM at 2012-07-15 09:48:44
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!

怎么成了硅片裂纹?
3楼2012-07-15 11:05:41
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slzhao

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

放大比例都不一样,怎么对比啊?如果是二次电子的,放大倍数、初电子能都相同,会怎么样?按道理来说,两种模式出来的图应该一样。
Dream
5楼2012-07-15 17:06:41
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