24小时热门版块排行榜    

查看: 2241  |  回复: 8

Smallpeng

木虫 (正式写手)

[求助] 帮忙分析下薄膜的SEM图

我的薄膜是溅射在硅片上的,在SEM下观察。二次电子模式下,一片光亮,像镜面一样,没有晶粒发现,但在背散模式下就发现有很多裂纹,这是为什么呢?为什么在仅在背散模式下观察到裂纹啊,是裂纹处的成分发生变化还是怎么回事?

二次电子模式



背散模式
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

COXEM

捐助贵宾 (正式写手)

北京驰奔仪器有限公司- G.M &


【答案】应助回帖


Smallpeng: 金币+1, 有帮助 2012-07-15 12:26:52
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!
2楼2012-07-15 09:48:44
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wu1008

金虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by COXEM at 2012-07-15 09:48:44
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!

怎么成了硅片裂纹?
3楼2012-07-15 11:05:41
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by COXEM at 2012-07-15 09:48:44
硅片裂纹! 是否镀膜时候造成的? 对照观察一下镀膜前的基片表面情况!

硅片裂纹?如何解释?我溅射的薄一点的话就没有裂纹出现,如果是硅片裂纹的话应该不管薄厚都出现裂纹的啊!那又为什么在二次电子下没发现裂纹只在背散下看到呢?
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
4楼2012-07-15 12:31:08
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

slzhao

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

放大比例都不一样,怎么对比啊?如果是二次电子的,放大倍数、初电子能都相同,会怎么样?按道理来说,两种模式出来的图应该一样。
Dream
5楼2012-07-15 17:06:41
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by slzhao at 2012-07-15 17:06:41
放大比例都不一样,怎么对比啊?如果是二次电子的,放大倍数、初电子能都相同,会怎么样?按道理来说,两种模式出来的图应该一样。

不好意思,我上图的时候没注意放大倍数,二次电子在1k倍的时候和500倍一样,同样没发现裂纹
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
6楼2012-07-15 19:39:49
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

boaizcs

金虫 (小有名气)

兄弟,你的原因找到没?
微笑而过
7楼2012-10-03 21:22:39
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liyiming

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-07-15 19:39:49
不好意思,我上图的时候没注意放大倍数,二次电子在1k倍的时候和500倍一样,同样没发现裂纹...

如果二次电子像是成功聚焦的话,从形貌上看是没有裂纹的。bse除了具有形貌衬度意外,还对成分敏感,因此考虑是否某种成分在界面处的偏聚。(具体的研究内容并不了解,仅从图片分析的角度考虑。)
8楼2012-10-04 09:50:10
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Smallpeng

木虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by boaizcs at 2012-10-03 21:22:39
兄弟,你的原因找到没?

应该是太厚了
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
9楼2012-10-04 10:28:54
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Smallpeng 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于农业、土地、国土资源类的基金挂名 +4 Heaven74 2024-07-03 4/200 2024-07-03 14:04 by blueearth171
[硕博家园] 开题 +4 东北。 2024-06-29 7/350 2024-07-03 13:46 by 东北。
[找工作] 纠结中 +8 EDGE13 2024-07-02 8/400 2024-07-03 13:26 by caiqingchong
[基金申请] 2024年地学口面地青会评啥时候啊 +4 yueliang198 2024-06-30 5/250 2024-07-03 12:27 by THK1912
[基金申请] 有 AI 的可以一试(用 chatgpt 预测今年的概率) +6 fukuoka000 2024-07-03 6/300 2024-07-03 11:43 by super2002521
[找工作] 博士有找工作搭子吗? +13 如花美卷18 2024-06-30 17/850 2024-07-03 07:47 by zhaojiang427
[论文投稿] 爱思唯尔,文章返修后一个审稿人跑路,编辑不邀请审稿人 5+3 buwenrenxing 2024-06-27 8/400 2024-07-03 07:23 by bullbilly
[基金申请] 特助没中,请问大家能看到评审意见吗? +3 Lynn212 2024-07-02 3/150 2024-07-03 06:54 by 勇敢的female
[硕博家园] 哭到鼻子不透气,要窒息 +6 pvrw0224 2024-06-28 6/300 2024-07-02 17:32 by 明眸hz
[基金申请] 博士后基金出了,我想向各位大佬请教下,博士后基金到底评什么呢? 100+4 since—2010 2024-06-28 21/1050 2024-07-02 16:48 by hyss1992
[论文投稿] 综述综述投稿不好找,求2区3区水刊,材料,化学类的 5+3 6eric 2024-06-29 6/300 2024-07-02 14:10 by bobvan
[有机交流] CuI催化C-N偶联 15+3 执白先行 2024-07-01 3/150 2024-07-02 13:57 by 2461777831
[教师之家] 佛山大学和深职大怎么选? +11 24601 2024-06-29 22/1100 2024-07-02 12:33 by 24601
[基金申请] 2024基金必中 +11 fzy721521 2024-06-28 14/700 2024-07-02 00:09 by ChemMisty
[教师之家] 院系领导要整人、要孤立普通教师很容易,这位教授被整期间没人敢为他发声 +9 zju2000 2024-06-30 12/600 2024-07-01 21:55 by 秋晴果实
[基金申请] 2020面地青已有会评专家接到电话了 +11 dream200606 2024-06-28 13/650 2024-07-01 21:20 by liliwang215
[基金申请] 青拔答辩通知出来了 +6 5011fudan 2024-06-28 6/300 2024-07-01 19:01 by 学员qYccD0
[基金申请] 先中青基、再中博后面上的情况也挺多吧? +12 WKKWKK 2024-06-29 13/650 2024-07-01 12:34 by miner007
[基金申请] 中了博后面上系统能查到分数和排名吗? +5 老黑不黑 2024-06-29 6/300 2024-07-01 06:19 by yqliu130
[基金申请] 2024年度国家资助博士后研究人员计划(B、C 档)也不知道什么时候出 +11 SCU船船船 2024-06-28 15/750 2024-06-29 00:21 by 666中
信息提示
请填处理意见