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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 帮忙分析下薄膜的SEM图
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

[求助] 帮忙分析下薄膜的SEM图

我的薄膜是溅射在硅片上的，在SEM下观察。二次电子模式下，一片光亮，像镜面一样，没有晶粒发现，但在背散模式下就发现有很多裂纹，这是为什么呢？为什么在仅在背散模式下观察到裂纹啊，是裂纹处的成分发生变化还是怎么回事？

二次电子模式



背散模式
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
1楼 2012-07-11 10:50:13
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liyiming

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-07-15 19:39:49
不好意思，我上图的时候没注意放大倍数，二次电子在1k倍的时候和500倍一样，同样没发现裂纹...

如果二次电子像是成功聚焦的话，从形貌上看是没有裂纹的。bse除了具有形貌衬度意外，还对成分敏感，因此考虑是否某种成分在界面处的偏聚。（具体的研究内容并不了解，仅从图片分析的角度考虑。）
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8楼2012-10-04 09:50:10
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