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Smallpeng

木虫 (正式写手)

[求助] 帮忙分析下薄膜的SEM图

我的薄膜是溅射在硅片上的,在SEM下观察。二次电子模式下,一片光亮,像镜面一样,没有晶粒发现,但在背散模式下就发现有很多裂纹,这是为什么呢?为什么在仅在背散模式下观察到裂纹啊,是裂纹处的成分发生变化还是怎么回事?

二次电子模式



背散模式
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liyiming

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by Smallpeng at 2012-07-15 19:39:49
不好意思,我上图的时候没注意放大倍数,二次电子在1k倍的时候和500倍一样,同样没发现裂纹...

如果二次电子像是成功聚焦的话,从形貌上看是没有裂纹的。bse除了具有形貌衬度意外,还对成分敏感,因此考虑是否某种成分在界面处的偏聚。(具体的研究内容并不了解,仅从图片分析的角度考虑。)
8楼2012-10-04 09:50:10
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