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zhh7122003金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控溅射中，靶座的冷却水循环不畅，如何解决？
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| 实验室有台磁控溅射设备，今天实验中发现靶座中的冷却水循环不畅，出水口仅有水滴连续地排出，应该是铁锈或水里的杂质阻塞了水路，曾尝试用气流疏导，没有明显效果。如何解决？ 求高手指点！！ |
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2楼2012-07-09 16:55:58