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luzhong_2007木虫 (小有名气)
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[求助]
电子束蒸发在硅片上镀ZnO，为什么镀不上去？
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| 急·····，哪位大侠用过北仪的电子束蒸发，我现在遇到一个问题：最近在硅片上镀ZnO，本底气压在2.3*10^-3Pa，生长气压在8.5*10^-3Pa，镀40min为什么镀不上去啊，源都少的啊？以前按照相同的条件镀可以在硅片上镀40min可以镀100nm左右，就最近刚镀不上去，哪位虫友有类似的问题解决了的？注：其他条件跟以前都一样，就是衬托洗了一下烘干后镀！ |
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luzhong_2007
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2楼2012-07-02 23:11:31
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