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luzhong_2007

木虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发在硅片上镀ZnO，为什么镀不上去？

急·····，哪位大侠用过北仪的电子束蒸发，我现在遇到一个问题：最近在硅片上镀ZnO，本底气压在2.3*10^-3Pa，生长气压在8.5*10^-3Pa，镀40min为什么镀不上去啊，源都少的啊？以前按照相同的条件镀可以在硅片上镀40min可以镀100nm左右，就最近刚镀不上去，哪位虫友有类似的问题解决了的？注：其他条件跟以前都一样，就是衬托洗了一下烘干后镀！
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1楼 2012-06-16 19:32:37
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csgt0

荣誉版主 (著名写手)

彩色挂图
真空度稍微再抽高点，基片温度是否过高，灯丝电流可以再加点。
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showmethemoney
4楼2012-07-04 17:19:59
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