| 查看: 1256 | 回复: 8 | |||
luzhong_2007木虫 (小有名气)
|
[求助]
电子束蒸发在硅片上镀ZnO，为什么镀不上去？
|
| 急·····，哪位大侠用过北仪的电子束蒸发，我现在遇到一个问题：最近在硅片上镀ZnO，本底气压在2.3*10^-3Pa，生长气压在8.5*10^-3Pa，镀40min为什么镀不上去啊，源都少的啊？以前按照相同的条件镀可以在硅片上镀40min可以镀100nm左右，就最近刚镀不上去，哪位虫友有类似的问题解决了的？注：其他条件跟以前都一样，就是衬托洗了一下烘干后镀！ |
回复此楼» 猜你喜欢
297，工科调剂?
已经有9人回复
-
300求调剂
已经有4人回复
-
291求调剂
已经有5人回复
-
085404 22408 309分求调剂
已经有10人回复
-
296求调剂
已经有13人回复
-
通信工程求调剂！！！
已经有6人回复
-
294求调剂
已经有7人回复
-
一志愿A区211，22408 321求调剂
已经有6人回复
-
0854求调剂
已经有9人回复
-
291分调剂
已经有11人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!!!!PLD
已经有6人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 蒸发镀膜真空度问题讨论
已经有6人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】磁控溅射和电子束蒸发两种方式来镀制金属铬膜，哪种的附着力好一些呢？
已经有5人回复
- 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
已经有34人回复
封神之神
至尊木虫 (知名作家)
- 博学EPI: 16
- 应助: 467 (硕士)
- 贵宾: 0.148
- 金币: 21897.6
- 红花: 39
- 帖子: 5024
- 在线: 246.4小时
- 虫号: 258028
- 注册: 2006-06-10
- 专业: 结构陶瓷
2楼2012-07-02 23:11:31
hblgczy
至尊木虫 (文坛精英)
- 博学EPI: 667
- 应助: 81 (初中生)
- 金币: 26583.8
- 散金: 168
- 红花: 37
- 沙发: 38
- 帖子: 11563
- 在线: 1274小时
- 虫号: 348922
- 注册: 2007-04-19
- 性别: GG
- 专业: 电化学
3楼2012-07-04 07:50:16
4楼2012-07-04 17:19:59
sysudwl
金虫 (正式写手)
- 博学EPI: 1
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1095.9
- 帖子: 592
- 在线: 83.3小时
- 虫号: 493176
- 注册: 2008-01-10
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2012-07-04 20:50:18
luzhong_2007
木虫 (小有名气)
- 博学EPI: 1
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2968.1
- 散金: 600
- 帖子: 141
- 在线: 180.2小时
- 虫号: 1529397
- 注册: 2011-12-08
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2012-07-06 18:52:30
luzhong_2007
木虫 (小有名气)
- 博学EPI: 1
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2968.1
- 散金: 600
- 帖子: 141
- 在线: 180.2小时
- 虫号: 1529397
- 注册: 2011-12-08
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
7楼2012-07-06 18:53:41
luzhong_2007
木虫 (小有名气)
- 博学EPI: 1
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2968.1
- 散金: 600
- 帖子: 141
- 在线: 180.2小时
- 虫号: 1529397
- 注册: 2011-12-08
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
8楼2012-07-06 18:55:00
苏泪尘
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1759.7
- 帖子: 160
- 在线: 131.5小时
- 虫号: 3945535
- 注册: 2015-06-29
- 性别: MM
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
9楼2020-07-10 17:02:16
20