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luzhong_2007

木虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发在硅片上镀ZnO,为什么镀不上去?

急·····,哪位大侠用过北仪的电子束蒸发,我现在遇到一个问题:最近在硅片上镀ZnO,本底气压在2.3*10^-3Pa,生长气压在8.5*10^-3Pa,镀40min为什么镀不上去啊,源都少的啊?以前按照相同的条件镀可以在硅片上镀40min可以镀100nm左右,就最近刚镀不上去,哪位虫友有类似的问题解决了的?注:其他条件跟以前都一样,就是衬托洗了一下烘干后镀!
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csgt0

荣誉版主 (著名写手)

彩色挂图

真空度稍微再抽高点,基片温度是否过高,灯丝电流可以再加点。
showmethemoney
4楼2012-07-04 17:19:59
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封神之神

至尊木虫 (知名作家)

用什么清洗?是否弄干净?真空镀是否达到?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2012-07-02 23:11:31
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hblgczy

至尊木虫 (文坛精英)

再试试吧,可能是基体结合力的问题吧
有志者,事竟成,破釜沉舟,百二秦关终属楚;苦心人,天不负,卧薪尝胆,三千越甲可吞吴。
3楼2012-07-04 07:50:16
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sysudwl

金虫 (正式写手)

如果源少的话,建议减少镀膜时间,如20或30分钟试试,可能膜太厚脱落了。如能调整下衬底与源的距离,最好也调整下试试。做试验嘛,就是多尝试,呵呵。
5楼2012-07-04 20:50:18
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