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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 实验讨论 » 电子束蒸发在硅片上镀ZnO，为什么镀不上去？
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发在硅片上镀ZnO，为什么镀不上去？

急·····，哪位大侠用过北仪的电子束蒸发，我现在遇到一个问题：最近在硅片上镀ZnO，本底气压在2.3*10^-3Pa，生长气压在8.5*10^-3Pa，镀40min为什么镀不上去啊，源都少的啊？以前按照相同的条件镀可以在硅片上镀40min可以镀100nm左右，就最近刚镀不上去，哪位虫友有类似的问题解决了的？注：其他条件跟以前都一样，就是衬托洗了一下烘干后镀！
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1楼 2012-06-16 19:32:37
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封神之神

至尊木虫 (知名作家)
用什么清洗?是否弄干净?真空镀是否达到?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2012-07-02 23:11:31
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hblgczy

至尊木虫 (文坛精英)
再试试吧，可能是基体结合力的问题吧
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有志者，事竟成，破釜沉舟，百二秦关终属楚；苦心人，天不负，卧薪尝胆，三千越甲可吞吴。
3楼2012-07-04 07:50:16
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csgt0

荣誉版主 (著名写手)

彩色挂图
真空度稍微再抽高点，基片温度是否过高，灯丝电流可以再加点。
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showmethemoney
4楼2012-07-04 17:19:59
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sysudwl

金虫 (正式写手)
如果源少的话，建议减少镀膜时间，如20或30分钟试试，可能膜太厚脱落了。如能调整下衬底与源的距离，最好也调整下试试。做试验嘛，就是多尝试，呵呵。
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5楼2012-07-04 20:50:18
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by hblgczy at 2012-07-04 07:50:16
再试试吧，可能是基体结合力的问题吧

嗯，试了两个星期了，终于可以镀上去了，但膜的质量不是很好，ZnO PL谱的特征峰强度很弱。我是刚弄这个论坛的，也不知道能送你什么，唯有谢谢哈~
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6楼2012-07-06 18:52:30
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by csgt0 at 2012-07-04 17:19:59
真空度稍微再抽高点，基片温度是否过高，灯丝电流可以再加点。

我们以前真空度就是用这个的，基片温度也一样，仪器跟人一样，偶尔要发脾气，哎~ 现在能镀上去了，但膜的质量不是很好！谢谢你的回答哈~
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7楼2012-07-06 18:53:41
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luzhong_2007

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by sysudwl at 2012-07-04 20:50:18
如果源少的话，建议减少镀膜时间，如20或30分钟试试，可能膜太厚脱落了。如能调整下衬底与源的距离，最好也调整下试试。做试验嘛，就是多尝试，呵呵。

嗯 我们也在一个一个排除镀不上去的因素，现在也不知咋的可以镀上去了，但膜的质量不是很好，谢谢你的回答哈~
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8楼2012-07-06 18:55:00
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苏泪尘

新虫 (小有名气)
请问楼主解决了嘛，我也遇到同样的问题了
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9楼2020-07-10 17:02:16
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