24小时热门版块排行榜    

查看: 626  |  回复: 4
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

钟楼脚下

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射问题

我最近在做Co基非晶材料的溅射  发现溅射得到的薄膜中元素的组成成分是和靶材的不太一样  这个怎么解释呢?  是应为不同元素的溅射产额不同而引起的吗?  如果是的话  有没有什么比较好的计算方法?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
钟楼脚下: 金币+2, ★★★★★最佳答案, 原本的材料成分未知 人家厂家不告诉我 我靶材和溅射出的薄膜都是用电镜做的成分分析 我在试试改变气压和功率吧 2012-06-11 16:22:26
我建议你靶材分析一下,看看是不是真的按照你当初购买的composition,另外合金靶材的某些元素的团聚也会引起你的成分差别。
5楼2012-06-08 11:35:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
悠然zx11: 金币+1, 多谢参与 ,鼓励详细交流,欢迎常来^0^ 2012-06-08 08:27:31
钟楼脚下: 金币+2, ★★★很有帮助, 感谢 2012-06-11 16:19:20
薄膜成分和靶材成分的有差别很正常
只要差别不大就行

多种原因造成偏差,一来产额不同,在磁场条件下,等离子体的沉寂速度也不同。似乎没什么比较好的计算方法算出薄膜成分

你要是有条件的话,就共溅射
2楼2012-06-07 22:59:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
钟楼脚下: 金币+1, ★★★很有帮助, 我只有一个合金靶 没有单独的材料 不过还是感谢你 2012-06-11 16:20:44
双靶共溅射也可以。
单靶溅射也可以得到想要的成分,根据成分需要及溅射规律可以在靶上放置各种金属片组成复合靶。再根据成分分析结果调整相对比例,可以获得想要的成分。
3楼2012-06-08 09:25:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
理论上靶材的成分和膜的成分不应该有区别,尤其是合金靶材,这个和溅射产额没关系,溅射产额是相对单独靶材而言。复合的靶材差别不会很大,只有可能是气压,偏压等的问题。从靶材出来的成分是和靶材的成分一样的,最有可能是途中出现不同。
4楼2012-06-08 11:33:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 334分 一志愿武理-080500 材料求调剂 +3 李李不服输 2026-03-25 3/150 2026-03-25 13:38 by cocolv
[考研] 289求调剂 +9 怀瑾握瑜l 2026-03-20 9/450 2026-03-25 11:02 by userper
[考研] B区考研调剂 +4 yqdszhdap- 2026-03-22 5/250 2026-03-25 08:51 by baoball
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分,一志愿四川大学,诚心求调剂 +15 吃吃吃才有意义 2026-03-19 16/800 2026-03-24 19:51 by 了了了了。。
[考研] 一志愿北化315 求调剂 +3 akrrain 2026-03-24 3/150 2026-03-24 19:35 by 了了了了。。
[有机交流] 有机合成求助 20+3 FENGSHUJEI 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:31 by 88817753
[考研] 材料专硕找调剂 +5 哈哈哈吼吼吼哈 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:07 by 了了了了。。
[考研] 080500求调剂 +3 zzzzfan 2026-03-24 3/150 2026-03-24 16:38 by barlinike
[考研] 085404电子信息284分求调剂 +4 13659058978 2026-03-24 4/200 2026-03-24 12:15 by syl20081243
[考研] 279分求调剂 一志愿211 +18 chaojifeixia 2026-03-19 20/1000 2026-03-24 10:34 by dolphin_ycj
[考研] 384求调剂 +3 子系博 2026-03-22 6/300 2026-03-23 21:45 by 子系博
[考研] 350求调剂 +6 weudhdk 2026-03-19 6/300 2026-03-23 15:47 by tangyuan0840221
[考研] 求老师收我 +3 zzh16938784 2026-03-23 3/150 2026-03-23 12:56 by ztnimte
[考研] 291求调剂 +5 孅華 2026-03-22 5/250 2026-03-23 09:20 by haoshis
[考研] 280分求调剂 一志愿085802 +4 PUMPT 2026-03-22 7/350 2026-03-22 22:13 by 星空星月
[考研] 一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂 +5 vv迷 2026-03-21 8/400 2026-03-22 14:20 by ColorlessPI
[考研] 085600材料与化工306 +4 z1z2z3879 2026-03-21 4/200 2026-03-21 23:44 by ms629
[考研] 313求调剂 +4 肆叁贰壹22 2026-03-19 4/200 2026-03-21 17:33 by ColorlessPI
[考研] 22 350 本科985求调剂,求老登收留 +3 李轶男003 2026-03-20 3/150 2026-03-21 13:28 by 搏击518
[考研] 330求调剂0854 +3 assdll 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:01 by 搏击518
信息提示
请填处理意见