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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射问题
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钟楼脚下

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射问题

我最近在做Co基非晶材料的溅射  发现溅射得到的薄膜中元素的组成成分是和靶材的不太一样  这个怎么解释呢？  是应为不同元素的溅射产额不同而引起的吗？  如果是的话  有没有什么比较好的计算方法？
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1楼 2012-06-07 13:31:27
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
悠然zx11: 金币+1, 多谢参与 ，鼓励详细交流，欢迎常来^0^ 2012-06-08 08:27:31
钟楼脚下: 金币+2, ★★★很有帮助, 感谢 2012-06-11 16:19:20
薄膜成分和靶材成分的有差别很正常
只要差别不大就行

多种原因造成偏差，一来产额不同，在磁场条件下，等离子体的沉寂速度也不同。似乎没什么比较好的计算方法算出薄膜成分

你要是有条件的话，就共溅射
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2楼2012-06-07 22:59:22
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
钟楼脚下: 金币+1, ★★★很有帮助, 我只有一个合金靶 没有单独的材料 不过还是感谢你 2012-06-11 16:20:44
双靶共溅射也可以。
单靶溅射也可以得到想要的成分，根据成分需要及溅射规律可以在靶上放置各种金属片组成复合靶。再根据成分分析结果调整相对比例，可以获得想要的成分。
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3楼2012-06-08 09:25:56
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
理论上靶材的成分和膜的成分不应该有区别，尤其是合金靶材，这个和溅射产额没关系，溅射产额是相对单独靶材而言。复合的靶材差别不会很大，只有可能是气压，偏压等的问题。从靶材出来的成分是和靶材的成分一样的，最有可能是途中出现不同。
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4楼2012-06-08 11:33:11
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
钟楼脚下: 金币+2, ★★★★★最佳答案, 原本的材料成分未知 人家厂家不告诉我 我靶材和溅射出的薄膜都是用电镜做的成分分析 我在试试改变气压和功率吧 2012-06-11 16:22:26
我建议你靶材分析一下，看看是不是真的按照你当初购买的composition，另外合金靶材的某些元素的团聚也会引起你的成分差别。
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5楼2012-06-08 11:35:29
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