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磁控溅射问题
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| 我最近在做Co基非晶材料的溅射 发现溅射得到的薄膜中元素的组成成分是和靶材的不太一样 这个怎么解释呢？ 是应为不同元素的溅射产额不同而引起的吗？ 如果是的话 有没有什么比较好的计算方法？ |
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