应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急
111/2返回列表12下一页
查看: 2167  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wsword.3

金虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急 已有1人参与

请问各位大虾，在用磁控溅射仪器做实验时，在溅射前的基体清洗过程中需要将靶电源打开吗？   
因为我做实验的基体容易被氧化，需要再在溅射前长时间加上负偏压将氧化层打掉，可是我在清洗过程中打开靶电流的话，最后的薄膜的sem显示薄膜是两层，因此考虑在清洗过程中不开靶电流，但是不知道不开把电源 只加偏压和气压的情况下能不能达到清洗效果·······
谢谢啦·~~~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-04-25 12:23:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wsword.3

金虫 (初入文坛)
怎么没有人回答呀~~~
赞一下 回复此楼
2楼2012-04-27 09:47:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wsword.3

金虫 (初入文坛)
ding
回复此楼
3楼2012-05-03 09:45:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wsword.3

金虫 (初入文坛)
ding~~~
回复此楼
4楼2012-05-05 14:20:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wsword.3

金虫 (初入文坛)
顶~~~
回复此楼
5楼2012-05-23 10:00:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zs1217

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
engle028: 金币+1, 感谢交流 2012-05-23 10:49:32
wsword.3: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-05-24 20:11:56
wsword.3: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-05-30 18:35:17
你好，不用开靶电流也可以达到同样的清洗效果，我们每次做的什么都不开的，考虑到氧的影响建议你清洗的时候适当通一点氢气。
赞一下 回复此楼
6楼2012-05-23 10:34:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wsword.3

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zs1217 at 2012-05-23 10:34:59:
你好，不用开靶电流也可以达到同样的清洗效果，我们每次做的什么都不开的，考虑到氧的影响建议你清洗的时候适当通一点氢气。

那你们的 气压 偏压等参数都是多少呢  谢谢你啊~~~
赞一下 回复此楼
7楼2012-05-24 20:08:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wsword.3

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zs1217 at 2012-05-23 10:34:59:
你好，不用开靶电流也可以达到同样的清洗效果，我们每次做的什么都不开的，考虑到氧的影响建议你清洗的时候适当通一点氢气。

不开靶电流 工作气体的能量不是没那么高么~~~
赞一下 回复此楼
8楼2012-05-24 20:11:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wsword.3

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zs1217 at 2012-05-23 10:34:59:
你好，不用开靶电流也可以达到同样的清洗效果，我们每次做的什么都不开的，考虑到氧的影响建议你清洗的时候适当通一点氢气。

我用这种清洗方法试了下 偏压500V,到气压3PA好像都没有起辉，是不需要起辉呢 还是需要将气压调大保证其起辉才能达到效果呢？  不胜感激呀~~~
赞一下 回复此楼
9楼2012-05-24 20:34:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

URHX5454
顶
10楼2012-09-04 17:02:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wsword.3 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 327求调剂 +10 Xxjc1107. 2026-04-06 11/550 2026-04-09 01:21 by lature00
[考研] 308求调剂 +16 倘若起风了呢 2026-04-05 16/800 2026-04-08 23:03 by 猪会飞
[考研] 293分求调剂，外语为俄语 +7 加一一九 2026-04-07 10/500 2026-04-08 20:14 by yutian743
[考研] 325分化学调剂 +9 15771691647 2026-04-02 9/450 2026-04-08 19:21 by ruoyu867
[考研] 材料工程322 +16 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 17/850 2026-04-08 16:35 by luoyongfeng
[考研] 机械工程264学硕求调剂 +3 qiushangxian 2026-04-06 3/150 2026-04-08 01:53 by Linzejun
[考研] 计算机408｜在校多次国家级竞赛获奖｜申请调剂 +4 东山大白鹅 2026-04-05 4/200 2026-04-08 00:18 by chongya
[考研] 307求调剂 +3 Youth@@ 2026-04-07 3/150 2026-04-07 22:00 by hemengdong
[考研] 求助 +3 卡卡东88 2026-04-06 4/200 2026-04-06 15:28 by going home
[考研] 0817化学工程与技术求调剂，一志愿中海洋319 +14 lv945 2026-04-04 14/700 2026-04-06 10:20 by 蓝云思雨
[考研] 348求调剂 +3 车厘子zzz 2026-04-05 3/150 2026-04-05 20:30 by 啵啵啵0119
[考研] 调剂 +3 李广火 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:57 by 蓝云思雨
[考研] 328分调剂 +6 门men 2026-04-04 6/300 2026-04-05 13:40 by imissbao
[考研] 083200 333求调剂 +3 十二！！ 2026-04-04 3/150 2026-04-05 08:28 by barlinike
[考研] 11408,335分，本科211，求调剂，可转专业 +5 鳄梨大鳄鱼 2026-04-03 5/250 2026-04-04 22:49 by chongya
[考研] 求调剂 +3 ffyyu 2026-04-02 3/150 2026-04-04 19:03 by 蓝云思雨
[考研] 272求调剂 +4 松柏常青5 2026-04-03 4/200 2026-04-04 17:03 by babysonlkd
[考研] 化工求调剂 +11 荔香芝士椰奶 2026-04-03 11/550 2026-04-03 22:06 by 啵啵啵0119
[考研] 281求调剂 +10 aaawhy 2026-04-03 10/500 2026-04-03 21:42 by lbsjt
[考研] 交通运输考试264分求工科调剂 +4 jike777 2026-04-02 4/200 2026-04-02 21:53 by zllcz
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭