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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急
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迫不得已

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by wsword.3 at 2012-05-24 20:34:29
我用这种清洗方法试了下 偏压500V,到气压3PA好像都没有起辉，是不需要起辉呢 还是需要将气压调大保证其起辉才能达到效果呢？  不胜感激呀~~~...

我们也在用磁控溅射镀膜，至于辉光清洗的话，是不用打开靶电源的，辉光清洗主要是利用基体的负偏压与氩气作用清洗基体的！！！
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我就是我，颜色不一样的烟火
11楼2014-03-29 10:06:02
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