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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 设备仪器 » 求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急
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wsword.3

金虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急 已有1人参与

请问各位大虾，在用磁控溅射仪器做实验时，在溅射前的基体清洗过程中需要将靶电源打开吗？   
因为我做实验的基体容易被氧化，需要再在溅射前长时间加上负偏压将氧化层打掉，可是我在清洗过程中打开靶电流的话，最后的薄膜的sem显示薄膜是两层，因此考虑在清洗过程中不开靶电流，但是不知道不开把电源 只加偏压和气压的情况下能不能达到清洗效果·······
谢谢啦·~~~
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1楼 2012-04-25 12:23:26
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迫不得已

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by wsword.3 at 2012-05-24 20:34:29
我用这种清洗方法试了下 偏压500V,到气压3PA好像都没有起辉，是不需要起辉呢 还是需要将气压调大保证其起辉才能达到效果呢？  不胜感激呀~~~...

我们也在用磁控溅射镀膜，至于辉光清洗的话，是不用打开靶电源的，辉光清洗主要是利用基体的负偏压与氩气作用清洗基体的！！！
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我就是我，颜色不一样的烟火
11楼2014-03-29 10:06:02
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wsword.3

金虫 (初入文坛)
怎么没有人回答呀~~~
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2楼2012-04-27 09:47:48
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zs1217

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
engle028: 金币+1, 感谢交流 2012-05-23 10:49:32
wsword.3: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-05-24 20:11:56
wsword.3: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-05-30 18:35:17
你好，不用开靶电流也可以达到同样的清洗效果，我们每次做的什么都不开的，考虑到氧的影响建议你清洗的时候适当通一点氢气。
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6楼2012-05-23 10:34:59
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wsword.3

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zs1217 at 2012-05-23 10:34:59:
你好，不用开靶电流也可以达到同样的清洗效果，我们每次做的什么都不开的，考虑到氧的影响建议你清洗的时候适当通一点氢气。

那你们的 气压 偏压等参数都是多少呢  谢谢你啊~~~
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7楼2012-05-24 20:08:09
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