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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？
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cz.87101

木虫 (正式写手)

[交流] 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？

陶瓷靶材开裂有哪些原因？

如何避免？

开裂后还能不能用？是否会报警断电？等等

欢迎大家踊跃发言
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1楼 2012-03-19 10:38:09
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

bluerushyou

银虫 (小有名气)
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cz.87101: 金币+5, 谢谢，已经很详细了，这个问题其实已经解决了呵呵，断电是因为短路，裂开后我用耐高温铝胶带粘接了，可以用 2012-06-07 08:40:36
不知道你的陶瓷具体指什么啊，是传统的粘土硅酸盐还是氧化物? 我有用过SiO,MgO, AlO，还有三元氧化物这种的靶材，靶材一般都是研磨成粉然后压制烧成块状；对于致密度不够的材料都会在下面用一个相同大小的铜片垫上主要是为了封紧四周让其固定在铜托上。在生长样品的时候，主要还是在靶材内部的温度升高局部膨胀产生的应力导致断裂 - 尤其是固定在铜拖上的氧化物，很容易断裂。

如果裂的话我的做法就是把碎掉的碎片尽量拼起来然后外侧用个铜圈箍起来，很好做的，量一量做一个就行。大多数的氧化物都是绝缘的，用的都是RF电源，所以不可能断电 - 你的断电估计是你的靶材没有固定好导致内部短路了（你的靶材没有隔离高压端和接地端，安装的问题感觉是）

至于开裂能不能用，当然是能用。裂开几半都能用，一点都不影响 - 我是说纯度不会有太大影响 - 但是生长速率就会变化了。

如果只是有裂纹，没有断开，建议别用太高的电压，或者把循环水的温度调低，再或者直接用液氮冷却，保证不会断~
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20楼2012-06-07 02:41:59
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普通回帖

cz.87101

木虫 (正式写手)
个人实验教训：开裂后的靶材试了一下，直接漏电保护打开，仪器断电。。。。。。。。
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2楼2012-03-19 10:39:45
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
cz.87101: 金币+1 2012-03-20 10:26:19
我以前也碰到过类似情况，最可能的原因是加热不均匀（靶材本身不均匀且导热性差）造成，可以考虑加一片导电耐热与靶材同样尺寸大小的垫子，我之前加上去之后就没有出现过靶材开裂了，但是我没有试过裂开的靶材还继续用，呵呵，漏电是必然的！

祝你好运！
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3楼2012-03-20 02:41:20
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wangzhenwei

银虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
cz.87101: 金币+1, 谢谢回复 2012-03-20 10:26:48
我的靶也裂开过，如果不是完全透过去应该没关系的。陶瓷靶功率不要太大，不然会受热裂开～
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4楼2012-03-20 08:48:15
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by leongoall at 2012-03-20 02:41:20:
我以前也碰到过类似情况，最可能的原因是加热不均匀（靶材本身不均匀且导热性差）造成，可以考虑加一片导电耐热与靶材同样尺寸大小的垫子，我之前加上去之后就没有出现过靶材开裂了，但是我没有试过裂开的靶材还继 ...

试过，做了个铜背板，一样难逃开裂的命运。裂过三次了，欲哭无泪啊。。。。。。。。。。所以建议大家最好少用陶瓷靶，能不用就不用，实验因为这个都耽误了好几个月了
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5楼2012-03-20 10:21:59
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by cz.87101 at 2012-03-20 10:21:59:
试过，做了个铜背板，一样难逃开裂的命运。裂过三次了，欲哭无泪啊。。。。。。。。。。所以建议大家最好少用陶瓷靶，能不用就不用，实验因为这个都耽误了好几个月了

不要用铜背板，铜导热这么强，跟不加有什么两样？

我回头给你问问我实验室用什么材料做的垫子！
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6楼2012-03-20 14:25:09
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by leongoall at 2012-03-20 14:25:09:
不要用铜背板，铜导热这么强，跟不加有什么两样？

我回头给你问问我实验室用什么材料做的垫子！

大多数不都是铜背板么？？？哎，现在只能换方法了
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7楼2012-03-22 11:18:16
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被堵

木虫 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请教一下，什么是陶瓷靶，做什么试验用？
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8楼2012-03-22 19:02:18
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 被堵 at 2012-03-22 19:02:18:
请教一下，什么是陶瓷靶，做什么试验用？

隔行如隔山呵呵做薄膜用的
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9楼2012-03-23 09:04:02
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lxlzu

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你可以试试把靶材粘接到铜板上。
开裂的靶材也可以拼接粘接到铜板上，应该没问题，我试过。
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10楼2012-03-23 09:24:03
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by lxlzu at 2012-03-23 09:24:03:
你可以试试把靶材粘接到铜板上。
开裂的靶材也可以拼接粘接到铜板上，应该没问题，我试过。

用铜板粘过一次，裂了。。。。。无奈啊
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11楼2012-03-24 23:33:15
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crocodilecel

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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6楼: Originally posted by leongoall at 2012-03-20 14:25:09:
不要用铜背板，铜导热这么强，跟不加有什么两样？

我回头给你问问我实验室用什么材料做的垫子！

请问陶瓷靶溅射时用什么垫子？非常感谢
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12楼2012-04-09 16:48:51
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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12楼: Originally posted by crocodilecel at 2012-04-09 16:48:51:
请问陶瓷靶溅射时用什么垫子？非常感谢

对不住了，这段时间太忙给忘了，不好意思！

我明天问，你给我发个站内短信再提醒一下我，明天一定不要忘记！
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13楼2012-04-09 18:47:23
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
陶瓷靶材必须绑定背板，当然还要和靶材的厚度、取向、晶粒尺寸有关。
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14楼2012-04-16 11:48:05
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dearhanzi

金虫 (小有名气)
★
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Ceramic target need Cu backplate by In soldering.
Also density should be larger than 95%, otherwise high stress will lead to the crack under sputtering process.
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15楼2012-05-03 13:48:12
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
★ ★
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cz.87101: 金币+1 2012-05-07 21:45:40
背板绑定是解决陶瓷靶材导热性的一个普遍方法，但前提是您的靶材质量要过关。
如果陶瓷本身的力学性能非常差，导热性不均匀，焊接背板反而会加剧靶材开裂。
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16楼2012-05-04 15:26:59
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zongyu000

禁虫 (小有名气)
★
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17楼2012-05-07 16:32:57
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moodyzhao

银虫 (小有名气)
★
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5楼: Originally posted by cz.87101 at 2012-03-20 10:21:59
试过，做了个铜背板，一样难逃开裂的命运。裂过三次了，欲哭无泪啊。。。。。。。。。。所以建议大家最好少用陶瓷靶，能不用就不用，实验因为这个都耽误了好几个月了...

陶瓷靶是容易开裂，但是也没有你说的这么恐怖的哦
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18楼2012-05-29 20:52:28
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moodyzhao

银虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by moodyzhao at 2012-05-29 20:52:28
陶瓷靶是容易开裂，但是也没有你说的这么恐怖的哦...

什么样的陶瓷靶，我可以修复的！
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19楼2012-05-29 20:54:27
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huihui1991

铜虫 (小有名气)
★
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21楼2013-03-22 17:25:05
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taochao

至尊木虫 (知名作家)
★
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10楼: Originally posted by lxlzu at 2012-03-23 09:24:03
你可以试试把靶材粘接到铜板上。
开裂的靶材也可以拼接粘接到铜板上，应该没问题，我试过。

用什么把陶瓷靶粘到铜板上呀，新手求指教
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22楼2013-07-04 15:55:47
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taochao

至尊木虫 (知名作家)
★
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19楼: Originally posted by moodyzhao at 2012-05-29 20:54:27
什么样的陶瓷靶，我可以修复的！...

楼主犀利，能否教一下怎么修复呀
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23楼2013-07-04 16:01:47
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林文丢丢

木虫 (正式写手)
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10楼: Originally posted by lxlzu at 2012-03-23 09:24:03
你可以试试把靶材粘接到铜板上。
开裂的靶材也可以拼接粘接到铜板上，应该没问题，我试过。

请问一下  我说做陶瓷靶材的 我的靶材也裂开了，请问用什么粘结到铜板上，无极高温胶？
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24楼2014-03-12 16:24:29
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cz.87101

木虫 (正式写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by 林文丢丢 at 2014-03-12 16:24:29
请问一下  我说做陶瓷靶材的 我的靶材也裂开了，请问用什么粘结到铜板上，无极高温胶？...

你可以试试铝箔胶带或铜箔胶带，这种耐温，而且导热性好
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25楼2014-03-12 20:55:03
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liguangyao01

银虫 (小有名气)
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25楼: Originally posted by cz.87101 at 2014-03-12 20:55:03
你可以试试铝箔胶带或铜箔胶带，这种耐温，而且导热性好...

你好，我也是在做陶瓷靶溅射中遇到开裂的问题，现在想问一下，是否将陶瓷片用铝箔胶带或铜箔胶带粘上铜片，其开裂问题可以得到很好的解决。。。。。。。。。。。新手求指教。
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26楼2014-03-23 15:42:56
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东东那个东

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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11楼: Originally posted by cz.87101 at 2012-03-24 23:33:15
用铜板粘过一次，裂了。。。。。无奈啊...

裂了是可以用的，只要不脱落就好，有裂纹没事的
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27楼2021-03-03 15:58:38
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东东那个东

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
24楼: Originally posted by 林文丢丢 at 2014-03-12 16:24:29
请问一下  我说做陶瓷靶材的 我的靶材也裂开了，请问用什么粘结到铜板上，无极高温胶？...

用金属粘，用导电银胶、、、、、
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28楼2021-03-03 16:00:17
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