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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？
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cz.87101

木虫 (正式写手)

[交流] 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？

陶瓷靶材开裂有哪些原因？

如何避免？

开裂后还能不能用？是否会报警断电？等等

欢迎大家踊跃发言
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1楼2012-03-19 10:38:09
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leongoall

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cz.87101: 金币+1 2012-03-20 10:26:19
我以前也碰到过类似情况，最可能的原因是加热不均匀（靶材本身不均匀且导热性差）造成，可以考虑加一片导电耐热与靶材同样尺寸大小的垫子，我之前加上去之后就没有出现过靶材开裂了，但是我没有试过裂开的靶材还继续用，呵呵，漏电是必然的！

祝你好运！
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3楼2012-03-20 02:41:20
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leongoall

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5楼: Originally posted by cz.87101 at 2012-03-20 10:21:59:
试过，做了个铜背板，一样难逃开裂的命运。裂过三次了，欲哭无泪啊。。。。。。。。。。所以建议大家最好少用陶瓷靶，能不用就不用，实验因为这个都耽误了好几个月了

不要用铜背板，铜导热这么强，跟不加有什么两样？

我回头给你问问我实验室用什么材料做的垫子！
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6楼2012-03-20 14:25:09
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leongoall

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12楼: Originally posted by crocodilecel at 2012-04-09 16:48:51:
请问陶瓷靶溅射时用什么垫子？非常感谢

对不住了，这段时间太忙给忘了，不好意思！

我明天问，你给我发个站内短信再提醒一下我，明天一定不要忘记！
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13楼2012-04-09 18:47:23
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