| 查看: 6361 | 回复: 27 | |||
[交流]
陶瓷靶材开裂怎么破？？？？
|
|||
|
陶瓷靶材开裂有哪些原因？ 如何避免？ 开裂后还能不能用？是否会报警断电？等等 欢迎大家踊跃发言 |
回复此楼» 猜你喜欢
请问有评职称，把科研教学业绩算分排序的高校吗
已经有4人回复
-
孩子确诊有中度注意力缺陷
已经有12人回复
-
2025冷门绝学什么时候出结果
已经有3人回复
-
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入
已经有4人回复
-
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生
已经有6人回复
-
AI论文写作工具：是科研加速器还是学术作弊器？
已经有3人回复
-
2026博士申请-功能高分子，水凝胶方向
已经有6人回复
-
论文投稿，期刊推荐
已经有4人回复
-
硕士和导师闹得不愉快
已经有13人回复
-
请问2026国家基金面上项目会启动申2停1吗
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
蜂窝陶瓷载体干燥后开裂，纵向开裂，是什么原因啊？
已经有13人回复- 薄膜中的应力如何释放
已经有4人回复
- ITO陶瓷靶能承受的最大溅射功率
已经有7人回复
- 陶瓷烧结开裂问题
已经有108人回复
- AZO陶瓷靶材如何腐蚀
已经有7人回复
- 求助,谁知道合肥哪里有陶瓷加工的地方啊?
已经有4人回复
- 射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
- 陶瓷片开裂，如何检测出？
已经有9人回复
- 纯氧化锆陶瓷烧结开裂？
已经有13人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 求助一下陶瓷产品容易开裂的问题？铁、镁氧化物含量高会有影响么？
已经有8人回复
- BaTiO3陶瓷粉料湿磨混料后用压滤机怎么压不干啊？？？
已经有9人回复
- 压电陶瓷采用轧膜成型工艺怎样更能提高坯片密度？？？
已经有7人回复
- 陶瓷干坯排胶（脱胶）过程中燃烧，样品开裂如何解决？
已经有17人回复
- 【求助】热压烧结硼化锆陶瓷开裂问题
已经有23人回复
- 求助 陶瓷烧结开裂问题
已经有12人回复
- 【求助】如何区分TiO2在晶体场中的3d轨道劈裂能级？
已经有11人回复
- 【求助】烧成后瓷体开裂现象如何避免
已经有18人回复
- 【请教】陶瓷块压制时出现开裂
已经有41人回复
- 【请教】泡沫陶瓷的烧结开裂问题
已经有22人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
坐标武汉，征友
+2/236
-
坐标深圳，诚征女友
+1/187
-
因为雪而勾起的一些往事
+1/96
-
加拿大/英属哥伦比亚大学曹彦凯课题组招收全奖博士/博后 [机器学习/优化/控制方向]
+1/92
-
中科院理化所(北京)招收2026年材料学外招博士生1名（考核制）
+1/78
-
北京化工大学生命科学与技术学院岗位招聘信息
+1/65
-
双一流大学湘潭大学“化工过程模拟与强化”国家地方联合工程研究中心招收各类博士生
+1/49
-
双一流大学湘潭大学“化工过程模拟与强化”国家地方联合工程研究中心招收各类博士生
+1/34
-
2026博士申请-药物化学方向（小分子化合物合成）
+1/32
-
北京理工大学国家杰青梁军教授课题组招聘2026级博士研究生
+1/31
-
宁波大学张天宇教授课题组招聘副教授/讲师
+1/29
-
【宁德时代招聘】电化学科学家
+1/28
-
湖南大学2026博士招生
+1/7
-
求推荐：3D打印复合材料力学性能研究方向的SCI期刊
+1/6
-
南开大学齐迹课题组诚聘博士后
+1/5
-
长江学者团队招聘高校教师7名(地点杭州、有事业编)+博后5名
+1/5
-
南京航空航天大学核科学与技术方向招收博士生
+1/5
-
同济大学高绍荣院士王冕课题组诚聘博士后
+1/3
-
三峡集团科研院海上风电研究项目实习生招聘公告
+1/3
-
香港科技大学高寒宇课题组博士后招聘
+1/2
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
cz.87101: 金币+5, 谢谢，已经很详细了，这个问题其实已经解决了呵呵，断电是因为短路，裂开后我用耐高温铝胶带粘接了，可以用 2012-06-07 08:40:36
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
cz.87101: 金币+5, 谢谢，已经很详细了，这个问题其实已经解决了呵呵，断电是因为短路，裂开后我用耐高温铝胶带粘接了，可以用 2012-06-07 08:40:36
|
不知道你的陶瓷具体指什么啊，是传统的粘土硅酸盐还是氧化物? 我有用过SiO,MgO, AlO，还有三元氧化物这种的靶材，靶材一般都是研磨成粉然后压制烧成块状；对于致密度不够的材料都会在下面用一个相同大小的铜片垫上主要是为了封紧四周让其固定在铜托上。在生长样品的时候，主要还是在靶材内部的温度升高局部膨胀产生的应力导致断裂 - 尤其是固定在铜拖上的氧化物，很容易断裂。 如果裂的话我的做法就是把碎掉的碎片尽量拼起来然后外侧用个铜圈箍起来，很好做的，量一量做一个就行。大多数的氧化物都是绝缘的，用的都是RF电源，所以不可能断电 - 你的断电估计是你的靶材没有固定好导致内部短路了（你的靶材没有隔离高压端和接地端，安装的问题感觉是） 至于开裂能不能用，当然是能用。裂开几半都能用，一点都不影响 - 我是说纯度不会有太大影响 - 但是生长速率就会变化了。 如果只是有裂纹，没有断开，建议别用太高的电压，或者把循环水的温度调低，再或者直接用液氮冷却，保证不会断~ |
20楼2012-06-07 02:41:59
2楼2012-03-19 10:39:45
3楼2012-03-20 02:41:20
4楼2012-03-20 08:48:15
5楼2012-03-20 10:21:59
6楼2012-03-20 14:25:09
7楼2012-03-22 11:18:16
8楼2012-03-22 19:02:18
9楼2012-03-23 09:04:02
10楼2012-03-23 09:24:03
11楼2012-03-24 23:33:15
12楼2012-04-09 16:48:51
13楼2012-04-09 18:47:23
14楼2012-04-16 11:48:05
15楼2012-05-03 13:48:12
16楼2012-05-04 15:26:59
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
本帖内容被屏蔽 |
17楼2012-05-07 16:32:57
18楼2012-05-29 20:52:28
19楼2012-05-29 20:54:27
huihui1991 
铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
本帖内容被屏蔽 |
21楼2013-03-22 17:25:05
22楼2013-07-04 15:55:47
23楼2013-07-04 16:01:47
24楼2014-03-12 16:24:29
25楼2014-03-12 20:55:03
26楼2014-03-23 15:42:56
27楼2021-03-03 15:58:38
28楼2021-03-03 16:00:17