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cz.87101

木虫 (正式写手)

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虫号: 1047953

[交流] 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？

陶瓷靶材开裂有哪些原因？

如何避免？

开裂后还能不能用？是否会报警断电？等等

欢迎大家踊跃发言

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1楼 2012-03-19 10:38:09

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bluerushyou

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 932431

★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
cz.87101: 金币+5, 谢谢，已经很详细了，这个问题其实已经解决了呵呵，断电是因为短路，裂开后我用耐高温铝胶带粘接了，可以用 2012-06-07 08:40:36

不知道你的陶瓷具体指什么啊，是传统的粘土硅酸盐还是氧化物? 我有用过SiO,MgO, AlO，还有三元氧化物这种的靶材，靶材一般都是研磨成粉然后压制烧成块状；对于致密度不够的材料都会在下面用一个相同大小的铜片垫上主要是为了封紧四周让其固定在铜托上。在生长样品的时候，主要还是在靶材内部的温度升高局部膨胀产生的应力导致断裂 - 尤其是固定在铜拖上的氧化物，很容易断裂。

如果裂的话我的做法就是把碎掉的碎片尽量拼起来然后外侧用个铜圈箍起来，很好做的，量一量做一个就行。大多数的氧化物都是绝缘的，用的都是RF电源，所以不可能断电 - 你的断电估计是你的靶材没有固定好导致内部短路了（你的靶材没有隔离高压端和接地端，安装的问题感觉是）

至于开裂能不能用，当然是能用。裂开几半都能用，一点都不影响 - 我是说纯度不会有太大影响 - 但是生长速率就会变化了。

如果只是有裂纹，没有断开，建议别用太高的电压，或者把循环水的温度调低，再或者直接用液氮冷却，保证不会断~