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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？
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cz.87101

木虫 (正式写手)

[交流] 陶瓷靶材开裂怎么破？？？？

陶瓷靶材开裂有哪些原因？

如何避免？

开裂后还能不能用？是否会报警断电？等等

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1楼2012-03-19 10:38:09
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mosleo

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陶瓷靶材必须绑定背板，当然还要和靶材的厚度、取向、晶粒尺寸有关。
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14楼2012-04-16 11:48:05
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mosleo

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cz.87101: 金币+1 2012-05-07 21:45:40
背板绑定是解决陶瓷靶材导热性的一个普遍方法，但前提是您的靶材质量要过关。
如果陶瓷本身的力学性能非常差，导热性不均匀，焊接背板反而会加剧靶材开裂。
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16楼2012-05-04 15:26:59
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