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薄膜厚度测试方法精准度
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| 请问测试薄膜厚度有哪些方法？我之前用过干涉仪侧过，也用台阶仪测过，请问这两种方那个较为精准，我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位！ |
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