应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜厚度测试方法精准度
161/2返回列表12下一页
查看: 2443  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

c.hen411

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法？我之前用过干涉仪侧过，也用台阶仪测过，请问这两种方那个较为精准，我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-03-05 14:24:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
c.hen411(金币+3): ★★★很有帮助 恩，知道了。谢谢啊！ 2012-03-05 20:13:19
干涉仪测试的是光学厚度，需要扣除折射率不均匀的影响。台阶仪测试的是接触厚度，主要注意膜的台阶要做得好，否则测试也有误差。相对来说，台阶仪要准些。
赞一下 回复此楼
2楼2012-03-05 17:10:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
c.hen411(金币+2): ★有帮助 恩，谢谢啊 2012-03-05 20:12:36
最直观的方法就是做SEM的截面测试，其它方法误差比较大
赞一下 回复此楼
我~心~依~旧
3楼2012-03-05 19:21:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangyong832

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yuan999 at 2012-03-05 19:21:20:
最直观的方法就是做SEM的截面测试，其它方法误差比较大

SEM的话，对设备放大倍数提出较高要求
赞一下 回复此楼
4楼2012-03-06 09:06:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuan999

专家顾问 (知名作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wangyong832 at 2012-03-06 09:06:44:
SEM的话，对设备放大倍数提出较高要求

截面高度有200nm以上，不需要很好的SEM，能放大30000-50000倍的足够了
赞一下 回复此楼
我~心~依~旧
5楼2012-03-06 10:23:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangganglzu

至尊木虫 (职业作家)
★
aishan(金币+1): 鼓励交流 2012-03-07 14:40:22
椭偏仪也可以吧
回复此楼
天道酬勤
6楼2012-03-06 10:48:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qingmingshan

铜虫 (小有名气)
★
aishan(金币+1): 鼓励交流 2012-03-07 14:40:14
去做原子力电子显微镜，看截面。
赞一下 回复此楼
7楼2012-03-07 09:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

c.hen411

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by yuan999 at 2012-03-06 10:23:24:
截面高度有200nm以上，不需要很好的SEM，能放大30000-50000倍的足够了

做SEM测试时间较长，还得等专业老师来指导，测一个样品价格也比较贵的，我还想用台阶仪，自己操作。时间又快！不过还是谢谢啊！
赞一下 回复此楼
8楼2012-03-07 10:08:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

c.hen411

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by wangganglzu at 2012-03-06 10:48:55:
椭偏仪也可以吧

恩，这个仪器比较先进，但是我们这没有这个！谢谢了啊！
赞一下 回复此楼
9楼2012-03-07 10:09:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coronafu

禁虫 (正式写手)
★
aishan(金币+1): 鼓励交流 2012-03-07 14:40:02
本帖内容被屏蔽
10楼2012-03-07 12:43:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 c.hen411 的主题更新
161/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 理学，工学，农学调剂，少走弯路，这里欢迎您！ +3 likeihood 2026-03-02 6/300 2026-03-02 18:44 by likeihood
[考研] 中国科学技术大学材料与化工281求调剂，有科研和获奖经历 +4 wsxw 2026-03-02 4/200 2026-03-02 18:43 by caszguilin
[考研] 283求调剂 +4 鹿沫笙 2026-03-02 4/200 2026-03-02 18:41 by caszguilin
[考研] 一志愿山东大学材料与化工325求调剂 +5 半截的诗0927 2026-03-02 5/250 2026-03-02 18:37 by 明亮9527
[考研] 化学，材料，环境类求调剂 +6 考研版棒棒 2026-03-02 6/300 2026-03-02 18:33 by caszguilin
[考研] 材料284求调剂，一志愿郑州大学英一数二专硕 +12 想上岸的土拨鼠 2026-02-28 12/600 2026-03-02 16:18 by youmomaoyan
[考研] 295求调剂。一志愿报考郑州大学化学工艺学硕，总分295分 +5 yl1 2026-03-02 5/250 2026-03-02 15:24 by sucesssucess
[考研] 0856化工专硕求调剂 +15 董boxing 2026-03-01 15/750 2026-03-02 15:06 by 晃晃不许晃
[考研] 化工专硕348，一志愿985求调剂 +6 弗格个 2026-02-28 9/450 2026-03-02 14:09 by liyongv
[考研] 求调剂 +3 熬夜的猫头鹰 2026-03-02 3/150 2026-03-02 11:45 by 刘兵
[考研] 295求调剂 +8 19171856320 2026-02-28 8/400 2026-03-02 11:19 by yuchj
[基金申请] 此成果不能导入原因：元数据必填信息不完整，可 进行补充。 +4 Kittylucky 2026-03-02 5/250 2026-03-02 11:07 by jurkat.1640
[考研] 0856材料与化工，270求调剂 +8 YXCT 2026-03-01 9/450 2026-03-02 11:01 by 无际的草原
[考研] 272求调剂 +6 田智友 2026-02-28 6/300 2026-03-01 21:40 by 公瑾逍遥
[考研] 0856求调剂285 +10 吕仔龙 2026-02-28 10/500 2026-03-01 21:37 by 公瑾逍遥
[考研] 306分材料调剂 +4 chuanzhu川烛 2026-03-01 5/250 2026-03-01 19:48 by 无际的草原
[考研] 290求调剂 +9 材料专硕调剂； 2026-02-28 11/550 2026-03-01 17:21 by sunny81
[考研] 307求调剂 +5 wyyyqx 2026-03-01 5/250 2026-03-01 15:21 by Fff-1
[考博] 博士自荐 +4 kkluvs 2026-02-28 4/200 2026-03-01 10:19 by 馥安馥安
[考研] 307求调剂 +4 73372112 2026-02-28 6/300 2026-03-01 00:04 by ll247
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭