24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2528  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

c.hen411

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法?我之前用过干涉仪侧过,也用台阶仪测过,请问这两种方那个较为精准,我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

c.hen411

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by wangganglzu at 2012-03-06 10:48:55:
椭偏仪也可以吧

恩,这个仪器比较先进,但是我们这没有这个!谢谢了啊!
9楼2012-03-07 10:09:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
c.hen411(金币+3): ★★★很有帮助 恩,知道了。谢谢啊! 2012-03-05 20:13:19
干涉仪测试的是光学厚度,需要扣除折射率不均匀的影响。台阶仪测试的是接触厚度,主要注意膜的台阶要做得好,否则测试也有误差。相对来说,台阶仪要准些。
2楼2012-03-05 17:10:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
c.hen411(金币+2): 有帮助 恩,谢谢啊 2012-03-05 20:12:36
最直观的方法就是做SEM的截面测试,其它方法误差比较大
我~心~依~旧
3楼2012-03-05 19:21:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangyong832

银虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yuan999 at 2012-03-05 19:21:20:
最直观的方法就是做SEM的截面测试,其它方法误差比较大

SEM的话,对设备放大倍数提出较高要求
4楼2012-03-06 09:06:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化学070300 求调剂 +16 哈哈哈^_^ 2026-04-12 16/800 2026-04-13 00:17 by wadb64
[考研] 279求调剂 +9 张番茄不炒蛋 2026-04-11 9/450 2026-04-12 22:22 by paopaotu326
[考研] 291求调剂 +8 关忆北. 2026-04-11 8/400 2026-04-12 09:32 by 逆水乘风
[考研] 一志愿西北工业大学289 085602 +33 yang婷 2026-04-10 34/1700 2026-04-12 08:11 by Art1977
[考研] 280求调剂 +7 兮兮夜夜 2026-04-09 10/500 2026-04-12 00:33 by 蓝云思雨
[考研] 283求调剂 086004考英二数二 +17 那个噜子 2026-04-10 18/900 2026-04-11 16:27 by 明月此时有
[考研] 297求调剂 +9 Kwgyz 2026-04-09 9/450 2026-04-11 10:09 by zhq0425
[考研] 中科院总分315求调剂 +8 lallalh 2026-04-09 8/400 2026-04-10 19:30 by dick_runner
[论文投稿] mdpi小修rvr时间四五天了 20+3 哈哈high 2026-04-08 5/250 2026-04-10 16:02 by 北京莱茵润色
[考研] 314求调剂 +14 weltZeng 2026-04-09 14/700 2026-04-09 23:14 by wolf97
[考研] 332,085601求调剂 +12 ydfyh 2026-04-09 14/700 2026-04-09 17:28 by wp06
[考研] 材料工程调剂 +12 小刘同学吖吖 2026-04-06 13/650 2026-04-09 17:07 by luoyongfeng
[考研] 材料工程322 +18 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 19/950 2026-04-09 10:44 by cymywx
[考研] 085404,334分,求调剂 +5 sunjie8888 2026-04-08 8/400 2026-04-09 07:26 by sunjie8888
[考研] 270求调剂 +3 031127 2026-04-06 4/200 2026-04-08 21:00 by 逆水乘风
[考研] 材料科学与工程320求调剂,080500 +12 黄瓜味薯片 2026-04-06 12/600 2026-04-08 16:26 by luoyongfeng
[考研] 263分B区求调剂 +6 李nihao 2026-04-08 6/300 2026-04-08 09:38 by 南开小綦
[考研] 259求调剂 +5 就爱吃土豆呀呀 2026-04-07 5/250 2026-04-07 22:40 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +3 Youth@@ 2026-04-07 3/150 2026-04-07 09:25 by 小黑不怕难
[考研] 327考研调剂推荐 +6 呜呜呜呜呢 2026-04-06 6/300 2026-04-06 21:39 by 啵啵啵0119
信息提示
请填处理意见