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c.hen411

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法?我之前用过干涉仪侧过,也用台阶仪测过,请问这两种方那个较为精准,我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位!
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
c.hen411(金币+2): 有帮助 恩,谢谢啊 2012-03-05 20:12:36
最直观的方法就是做SEM的截面测试,其它方法误差比较大
我~心~依~旧
3楼2012-03-05 19:21:20
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
c.hen411(金币+3): ★★★很有帮助 恩,知道了。谢谢啊! 2012-03-05 20:13:19
干涉仪测试的是光学厚度,需要扣除折射率不均匀的影响。台阶仪测试的是接触厚度,主要注意膜的台阶要做得好,否则测试也有误差。相对来说,台阶仪要准些。
2楼2012-03-05 17:10:26
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wangyong832

银虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yuan999 at 2012-03-05 19:21:20:
最直观的方法就是做SEM的截面测试,其它方法误差比较大

SEM的话,对设备放大倍数提出较高要求
4楼2012-03-06 09:06:44
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

引用回帖:
4楼: Originally posted by wangyong832 at 2012-03-06 09:06:44:
SEM的话,对设备放大倍数提出较高要求

截面高度有200nm以上,不需要很好的SEM,能放大30000-50000倍的足够了
我~心~依~旧
5楼2012-03-06 10:23:24
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