24小时热门版块排行榜    

查看: 2438  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

c.hen411

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法?我之前用过干涉仪侧过,也用台阶仪测过,请问这两种方那个较为精准,我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuan999

专家顾问 (知名作家)

引用回帖:
4楼: Originally posted by wangyong832 at 2012-03-06 09:06:44:
SEM的话,对设备放大倍数提出较高要求

截面高度有200nm以上,不需要很好的SEM,能放大30000-50000倍的足够了
我~心~依~旧
5楼2012-03-06 10:23:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
c.hen411(金币+3): ★★★很有帮助 恩,知道了。谢谢啊! 2012-03-05 20:13:19
干涉仪测试的是光学厚度,需要扣除折射率不均匀的影响。台阶仪测试的是接触厚度,主要注意膜的台阶要做得好,否则测试也有误差。相对来说,台阶仪要准些。
2楼2012-03-05 17:10:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
c.hen411(金币+2): 有帮助 恩,谢谢啊 2012-03-05 20:12:36
最直观的方法就是做SEM的截面测试,其它方法误差比较大
我~心~依~旧
3楼2012-03-05 19:21:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangyong832

银虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yuan999 at 2012-03-05 19:21:20:
最直观的方法就是做SEM的截面测试,其它方法误差比较大

SEM的话,对设备放大倍数提出较高要求
4楼2012-03-06 09:06:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 理学,工学,农学调剂,少走弯路,这里欢迎您! +3 likeihood 2026-03-02 5/250 2026-03-02 16:37 by ZRH_878
[考研] 295求调剂。一志愿报考郑州大学化学工艺学硕,总分295分 +5 yl1 2026-03-02 5/250 2026-03-02 15:24 by sucesssucess
[考研] 290分材料工程085601求调剂 数二英一 +3 llx0610 2026-03-02 3/150 2026-03-02 14:15 by yc258
[考研] 化工专硕348,一志愿985求调剂 +6 弗格个 2026-02-28 9/450 2026-03-02 14:09 by liyongv
[考研] 材料与化工328求调剂 +3 。,。,。,。i 2026-03-02 3/150 2026-03-02 13:09 by houyaoxu
[考研] 272求调剂 +7 材紫有化 2026-02-28 7/350 2026-03-02 12:48 by 无际的草原
[考研] 292求调剂 +7 yhk_819 2026-02-28 7/350 2026-03-02 12:43 by 无际的草原
[基金申请] 此成果不能导入原因:元数据必填信息不完整,可 进行补充。 +4 Kittylucky 2026-03-02 5/250 2026-03-02 11:07 by jurkat.1640
[考研] 材料工程专硕283求调剂 5+4 ,!? 2026-03-02 6/300 2026-03-02 11:07 by 黑!在干嘛
[考研] 281求调剂 +5 2026计算机_诚心 2026-03-01 8/400 2026-03-02 11:05 by 汪!?!
[考研] 一志愿郑大材料学硕298分,求调剂 +6 wsl111 2026-03-01 6/300 2026-03-02 11:00 by ydudjddnd
[考研] 材料学调剂 +10 提神豆沙包 2026-02-28 12/600 2026-03-02 09:26 by 李老师!
[基金申请] 成果系统访问量大,请一小时后再尝试。---NSFC啥时候好哦,已经两天这样了 +4 NSFC2026我来了 2026-02-28 4/200 2026-03-01 22:37 by 铁门栓
[硕博家园] 博士自荐 +7 科研狗111 2026-02-26 11/550 2026-03-01 22:24 by 哲平L
[考研] 298求调剂 +6 axyz3 2026-02-28 6/300 2026-03-01 19:00 by 18137688336
[考研] 290求调剂 +9 材料专硕调剂; 2026-02-28 11/550 2026-03-01 17:21 by sunny81
[考研] 313求调剂 +3 水流年lc 2026-02-28 3/150 2026-03-01 16:01 by 新能源达人
[考研] 307求调剂 +5 wyyyqx 2026-03-01 5/250 2026-03-01 15:21 by Fff-1
[考研] 085600材料工程一志愿中科大总分312求调剂 +8 吃宵夜1 2026-02-28 10/500 2026-02-28 20:27 by L135790
[硕博家园] 【博士招生】太原理工大学2026化工博士 +4 N1ce_try 2026-02-24 8/400 2026-02-26 08:40 by N1ce_try
信息提示
请填处理意见