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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜厚度测试方法精准度
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c.hen411

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法？我之前用过干涉仪侧过，也用台阶仪测过，请问这两种方那个较为精准，我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位！
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1楼 2012-03-05 14:24:16
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c.hen411

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by yuan999 at 2012-03-06 10:23:24:
截面高度有200nm以上，不需要很好的SEM，能放大30000-50000倍的足够了

做SEM测试时间较长，还得等专业老师来指导，测一个样品价格也比较贵的，我还想用台阶仪，自己操作。时间又快！不过还是谢谢啊！
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8楼2012-03-07 10:08:51
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c.hen411

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by wangganglzu at 2012-03-06 10:48:55:
椭偏仪也可以吧

恩，这个仪器比较先进，但是我们这没有这个！谢谢了啊！
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9楼2012-03-07 10:09:59
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c.hen411

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
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11楼: Originally posted by sea_wind at 2012-04-06 13:33:29:
台阶仪就行了，探针接触式测量，直接测试材料表面轮廓。不过如果膜镀的比较差，测起来对实验人员要求较高。
椭偏仪是测透明薄膜用的，要用到拟合计算。结果和拟合用的算式有关。
干涉仪精度也不错，不过对材料的 ...

谢谢啊！，受教了啊！
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13楼2012-04-07 09:35:10
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c.hen411

金虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by wxjabc at 2012-04-06 15:12:51:
SEM TEM 都行

嗯，这两种方法我们这边都要要钱的！比较贵，但是还是感谢啊！
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14楼2012-04-07 09:36:09
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