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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜厚度测试方法精准度
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sea_wind

铜虫 (小有名气)
台阶仪就行了，探针接触式测量，直接测试材料表面轮廓。不过如果膜镀的比较差，测起来对实验人员要求较高。
椭偏仪是测透明薄膜用的，要用到拟合计算。结果和拟合用的算式有关。
干涉仪精度也不错，不过对材料的反射率有要求。
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c.hen411
11楼2012-04-06 13:33:29
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wxjabc

金虫 (小有名气)
SEM TEM 都行
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12楼2012-04-06 15:12:51
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c.hen411

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
11楼: Originally posted by sea_wind at 2012-04-06 13:33:29:
台阶仪就行了，探针接触式测量，直接测试材料表面轮廓。不过如果膜镀的比较差，测起来对实验人员要求较高。
椭偏仪是测透明薄膜用的，要用到拟合计算。结果和拟合用的算式有关。
干涉仪精度也不错，不过对材料的 ...

谢谢啊！，受教了啊！
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13楼2012-04-07 09:35:10
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c.hen411

金虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by wxjabc at 2012-04-06 15:12:51:
SEM TEM 都行

嗯，这两种方法我们这边都要要钱的！比较贵，但是还是感谢啊！
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14楼2012-04-07 09:36:09
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wxjabc

金虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by c.hen411 at 2012-04-07 09:36:09:
嗯，这两种方法我们这边都要要钱的！比较贵，但是还是感谢啊！

它得到的信息更多啊，不仅有厚度还有晶粒形貌分布等等，一举多得啊
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15楼2012-04-07 10:07:57
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xuzhixiao

铁杆木虫 (著名写手)

Science, Technology and Art
不是有数字测厚仪吗
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”五爱青年“：爱科技，爱音乐，爱IT，爱阅读，爱健身
16楼2012-04-07 12:25:14
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