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c.hen411金虫 (小有名气)
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[求助]
薄膜厚度测试方法精准度
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| 请问测试薄膜厚度有哪些方法?我之前用过干涉仪侧过,也用台阶仪测过,请问这两种方那个较为精准,我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位! |
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sea_wind
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11楼2012-04-06 13:33:29
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c.hen411