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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜厚度测试方法精准度
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c.hen411

金虫 (小有名气)

[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法？我之前用过干涉仪侧过，也用台阶仪测过，请问这两种方那个较为精准，我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位！
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1楼 2012-03-05 14:24:16
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sea_wind

铜虫 (小有名气)
台阶仪就行了，探针接触式测量，直接测试材料表面轮廓。不过如果膜镀的比较差，测起来对实验人员要求较高。
椭偏仪是测透明薄膜用的，要用到拟合计算。结果和拟合用的算式有关。
干涉仪精度也不错，不过对材料的反射率有要求。
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c.hen411
11楼2012-04-06 13:33:29
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
c.hen411(金币+3): ★★★很有帮助 恩，知道了。谢谢啊！ 2012-03-05 20:13:19
干涉仪测试的是光学厚度，需要扣除折射率不均匀的影响。台阶仪测试的是接触厚度，主要注意膜的台阶要做得好，否则测试也有误差。相对来说，台阶仪要准些。
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2楼2012-03-05 17:10:26
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
c.hen411(金币+2): ★有帮助 恩，谢谢啊 2012-03-05 20:12:36
最直观的方法就是做SEM的截面测试，其它方法误差比较大
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我~心~依~旧
3楼2012-03-05 19:21:20
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wangyong832

银虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yuan999 at 2012-03-05 19:21:20:
最直观的方法就是做SEM的截面测试，其它方法误差比较大

SEM的话，对设备放大倍数提出较高要求
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4楼2012-03-06 09:06:44
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