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c.hen411

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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在线: 45.2小时
虫号: 1174891
注册: 2010-12-22
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法？我之前用过干涉仪侧过，也用台阶仪测过，请问这两种方那个较为精准，我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位！

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1楼2012-03-05 14:24:16

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sea_wind

铜虫 (小有名气)

应助: 7 (幼儿园)
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帖子: 58
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虫号: 918478
注册: 2009-12-02
专业: 无机非金属类电介质与电解

台阶仪就行了，探针接触式测量，直接测试材料表面轮廓。不过如果膜镀的比较差，测起来对实验人员要求较高。
椭偏仪是测透明薄膜用的，要用到拟合计算。结果和拟合用的算式有关。
干涉仪精度也不错，不过对材料的反射率有要求。

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

11楼2012-04-06 13:33:29

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