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c.hen411

金虫 (小有名气)

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[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法？我之前用过干涉仪侧过，也用台阶仪测过，请问这两种方那个较为精准，我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位！

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1楼 2012-03-05 14:24:16

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wxjabc

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

14楼: Originally posted by c.hen411 at 2012-04-07 09:36:09:
嗯，这两种方法我们这边都要要钱的！比较贵，但是还是感谢啊！

它得到的信息更多啊，不仅有厚度还有晶粒形貌分布等等，一举多得啊

15楼2012-04-07 10:07:57

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查看全部 16 个回答

ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
c.hen411(金币+3): ★★★很有帮助恩，知道了。谢谢啊！ 2012-03-05 20:13:19

干涉仪测试的是光学厚度，需要扣除折射率不均匀的影响。台阶仪测试的是接触厚度，主要注意膜的台阶要做得好，否则测试也有误差。相对来说，台阶仪要准些。

2楼2012-03-05 17:10:26

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yuan999

专家顾问 (知名作家)

专家经验: +355
应助: 1293 (讲师)
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专业: 半导体光电子器件
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
c.hen411(金币+2): ★有帮助恩，谢谢啊 2012-03-05 20:12:36

最直观的方法就是做SEM的截面测试，其它方法误差比较大

我~心~依~旧

3楼2012-03-05 19:21:20

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wangyong832

银虫 (著名写手)

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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

引用回帖:

3楼: Originally posted by yuan999 at 2012-03-05 19:21:20:
最直观的方法就是做SEM的截面测试，其它方法误差比较大

SEM的话，对设备放大倍数提出较高要求

4楼2012-03-06 09:06:44

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查看全部 16 个回答

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