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c.hen411

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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在线: 45.2小时
虫号: 1174891
注册: 2010-12-22
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 薄膜厚度测试方法精准度

请问测试薄膜厚度有哪些方法？我之前用过干涉仪侧过，也用台阶仪测过，请问这两种方那个较为精准，我的薄膜厚度大概在200nm-5000nm不等。谢谢各位！

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1楼2012-03-05 14:24:16

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qingmingshan

铜虫 (小有名气)

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性别: GG
专业: 金属材料的制备科学与跨学

★
aishan(金币+1): 鼓励交流 2012-03-07 14:40:14

去做原子力电子显微镜，看截面。

7楼2012-03-07 09:36:22

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