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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 交流互助 » 射频磁控溅射
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朱雪婷

铜虫 (小有名气)

[交流] 射频磁控溅射 已有6人参与

请问射频磁控溅射的时候，旋转粗调按钮时，射频源有电压无电流，自偏压表盘没动静，靶材起不了辉，这是怎么回事啊！
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1楼 2012-03-02 10:43:39
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javas2010

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
貌似PLD 这个我没玩过，帮你顶一下！
赞一下 回复此楼
含泪播种的人一定能含笑收获！
2楼2012-03-02 12:37:27
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coronafu

禁虫 (正式写手)
★
yuquanyao(金币+1): 谢谢回答！ 2012-03-05 12:22:02
本帖内容被屏蔽
3楼2012-03-03 23:41:35
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寒江钓雪客

铁虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
yuquanyao(金币+1): 多谢提供帮助。 2012-03-05 12:21:13
可能的情况很多，电压没有加到靶上，接头没有接好，起辉气体压强太小等等
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4楼2012-03-05 11:17:37
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faintchang

金虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
yuquanyao(金币+1): 谢谢交流！ 2012-03-05 12:27:28
如果电源输出电压值比正常情况下大很多，就是靶头那边没接好，把靶卸下来清理清理再装上应该就好了。
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5楼2012-03-05 12:26:29
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wanyue1111

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
有可能你的压强不够大，建议你下次，首先把压强跳到5Pa左右，功率设定到目标值，然后快速来回移动挡板，就能起辉，先不用调自偏压。希望对你有帮助。
赞一下 回复此楼
天空飘来五个字，这都不叫事！
6楼2012-03-25 14:09:42
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hyx8902

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
亲，你的额问题是怎么解决的？
我和你遇到了同样的情况，射频源有电压没电流，不知道怎么回事？求指导，
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7楼2014-09-29 09:15:16
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