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朱雪婷

铜虫 (小有名气)

[交流] 射频磁控溅射 已有6人参与

请问射频磁控溅射的时候,旋转粗调按钮时,射频源有电压无电流,自偏压表盘没动静,靶材起不了辉,这是怎么回事啊!
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javas2010

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
貌似PLD 这个我没玩过,帮你顶一下!
含泪播种的人一定能含笑收获!
2楼2012-03-02 12:37:27
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coronafu

禁虫 (正式写手)


yuquanyao(金币+1): 谢谢回答! 2012-03-05 12:22:02
本帖内容被屏蔽

3楼2012-03-03 23:41:35
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寒江钓雪客

铁虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
yuquanyao(金币+1): 多谢提供帮助。 2012-03-05 12:21:13
可能的情况很多,电压没有加到靶上,接头没有接好,起辉气体压强太小等等
4楼2012-03-05 11:17:37
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faintchang

金虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
yuquanyao(金币+1): 谢谢交流! 2012-03-05 12:27:28
如果电源输出电压值比正常情况下大很多,就是靶头那边没接好,把靶卸下来清理清理再装上应该就好了。
5楼2012-03-05 12:26:29
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wanyue1111

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有可能你的压强不够大,建议你下次,首先把压强跳到5Pa左右,功率设定到目标值,然后快速来回移动挡板,就能起辉,先不用调自偏压。希望对你有帮助。
天空飘来五个字,这都不叫事!
6楼2012-03-25 14:09:42
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hyx8902

银虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
亲,你的额问题是怎么解决的?
我和你遇到了同样的情况,射频源有电压没电流,不知道怎么回事?求指导,
7楼2014-09-29 09:15:16
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